12"サファイアのガラス ウエファー

材料のサファイア（Al2O3）
密度（20°C） Kg/m3         3.98×103
結晶構造             六角形
結晶格子の定数     a=4.785Å c=12.991 Å
Mohsの硬度              9
融点                2045°C
沸点                3000°C
熱膨張率  α=5.8×10 -6 /K
比熱             0.418W.s/g/k
熱conductio         25.12W/m/k （@100°C）
R.i. （nd）        no=1.768ne=1.76
dn/dt                     13×10-6/K （@633nm）
Tranmission              T≈85% （0.3~5um）
誘電率                11.5 （//c）、9.3 （⊥c）

サファイアのウエファー プロセス ステップ