LEDウェーハエピタキシーおよびICPエッチングプロセス用炭化ケイ素セラミックトレイ

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November 17, 2025
カテゴリー接続: 陶磁器の基質
報告書: LEDウェーハエピタキシーおよびICPエッチングプロセス向けに設計された、炭化ケイ素セラミックトレイを間近でご覧ください。その高い熱安定性、機械的強度、および耐薬品性の実力を発見してください。
関連製品特性:
  • 高い熱安定性:最大1650℃の高温下でも性能を維持します。
  • 機械的強度:高い硬度と耐荷重性により、変形やひび割れを防ぎます。
  • 耐薬品性:強酸、アルカリ、腐食性化学物質に耐えます。
  • 熱伝導率:均一な処理温度のための効率的な熱伝達。
  • 低い熱膨張率:熱サイクル下での寸法安定性を保証します。
  • 電気絶縁:電子用途に信頼性の高い絶縁を提供します。
  • CVDコーティングオプション:耐摩耗性と耐熱衝撃性を向上させるために利用可能です。
  • カスタマイズ可能なサイズと形状:様々な業界の特定のプロセス要件をサポートします。
よくある質問:
  • 炭化ケイ素セラミックトレイは、どのような産業で一般的に使用されていますか?
    このトレイは、半導体製造、高度セラミックス生産、化学処理、エレクトロニクス、航空宇宙、自動車、医療機器製造において広く使用されています。
  • このSiCセラミックトレイを使用する主な利点は何ですか?
    このトレイは、高純度、化学的安定性、極限条件下での安定した機械的特性、優れた耐摩耗性、そして軽量で耐久性に優れています。
  • 炭化ケイ素セラミックトレイはカスタマイズできますか?
    はい、トレイは特定のプロセス要件に合わせてサイズと形状をカスタマイズできます。これには、性能向上のためのオプションのCVDコーティングが含まれます。