1インチ シングルウェーハカセット

サファイアのウエファーの包装のPE箱
July 22, 2025
カテゴリー接続: 実験室のラッパー
1インチワッフルカセットは,半導体製造,光電子機器,マイクロ電子機器の研究開発高純度ポリマー (PEEKやPVDFなど) や反静的材料から製造され,汚染,静電損傷,クリーンルーム環境における物理的な影響SEMI規格に準拠するカセットは,MOCVD,PECVD,リトグラフィ,エッチングを含むプロセスにおける自動化ウェーファー転送システムに適しています.
報告書: 1インチシングルウェーハカセットは、半導体および光電子用途における1インチウェーハのESD安全な保管用に設計されています。高純度ポリマー製で、汚染や静電気による損傷から保護し、クリーンルーム環境や自動ハンドリングシステムに最適です。
関連製品特性:
  • 超清潔な性能で 100級クリーンルームの認証と 超低粒子生成
  • カーボンファイバー強化または静電気防止コーティングによるESD保護 (10⁶-10⁹Ω/sq)。
  • 150°Cまで高温耐性,酸や溶媒に対する化学耐性
  • ロボットハンドリング用の標準化されたインターフェースとのオートメーション互換性 (SMIF/FOUP)。
  • スロットピッチ精度±0.1mm、位置決め誤差≤0.05mmの高精度ウェーハ保護。
  • 半導体製造,光電子,MEMS製造,および研究開発アプリケーションに適しています.
  • 安全な輸送と自動化ウエファー転送システムのためのSEMI規格に準拠する.
  • 高度なパッケージングプロセスにおけるウェファの追跡性を強化するためのオプションのRFIDタグスロット.
よくある質問:
  • 1インチワッフルカセットの主な用途は?
    研究室や小規模なオプトエレクトロニクスデバイスの製造において、1インチの半導体ウェーハの取り扱いと保管に使用されます。
  • 1インチワッフルカセットにはどんな材料が使われていますか?
    カセットは通常、クリーンルーム対応のため、PEEKやPVDFのような高純度ポリマーで作られ、帯電防止特性を備えています。
  • 1インチワッフルカセットは 自動システムと互換性がありますか?
    はい、ロボットハンドリングシステムとのシームレスな統合のために、標準化されたインターフェース(SMIF/FOUP互換)を備えています。