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半導体加工のためのカスタムデザインのクォーツボート

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December 11, 2025
カテゴリー接続: 石英ガラスの版
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札:
#水晶基質 #水晶光学窓 #石英ガラスのウエファー
報告書: 当社のチームが、カスタムデザインの石英ボートが一般的な半導体プロセスシナリオでどのように機能するかをご案内します。このビデオでは、拡散、酸化、CVDなどの高温プロセス中にシリコンウェーハを安全に保持するための使用方法を実演します。これらの石英ボートがクリーンルーム環境に不可欠である理由である、精密なエンジニアリング、カスタマイズオプション、および主な機能をご覧ください。
関連製品特性:
  • 最小限の汚染のために、99.99%の純度を持つ高純度溶融石英（SiO₂）製。
  • 変形や劣化なしに、最大1200℃の極端な温度に耐えます。
  • ほとんどの化学物質に対して無活性で高温プロセスでは汚染されない.
  • 熱膨張が低いため、急激な温度変化でも寸法安定性が確保されます。
  • さまざまなスロット形状とフック設計を備えた標準サイズまたはカスタマイズされたサイズが利用可能です。
  • 半導体および化学処理用途における耐久性とパフォーマンスを考慮して設計されています。
  • さまざまなタイプの炉と互換性があり、ロボットウェーハハンドリングシステムの自動化に対応します。
  • 耐熱衝撃性に優れ、急激な温度変化によるクラックを防止します。
よくある質問:
  • 石英ボートは再利用できますか?
    はい、適切な洗浄とメンテナンスを行えば、石英ボートは性能を損なうことなく何度でも再利用できます。
  • 石英ボートはどのように洗浄すればよいですか?
    石英ボートは、洗浄中の急激な温度変化を避けながら、クリーンルーム基準に準拠した酸浴または超音波洗浄方法を使用して洗浄する必要があります。
  • 石英ボートはすべてのタイプの炉と互換性がありますか?
    はい、石英ボートは、半導体や太陽光発電の処理で使用されるほとんどの横型および縦型炉システムと互換性があります。
  • カスタムオーダーで利用できるサイズは何ですか?
    石英ボートは、100mm、150mm、200mm、300mm のウェーハに対応する標準サイズが用意されており、特殊な用途向けに追加のカスタマイズも可能です。
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