円盤の平面とノッチの接続
円盤の平面とノッチは,円盤製造中に円盤の向きを決定するために使用される重要な特徴であり,円盤の加工,並べ替え,検査において重要な役割を果たします.
1ワッフル フラット
円盤の平面は,円盤の外縁の平面部分を指します.片面の特定の方向をマークし,片面の加工および廃棄中に片面が正しく並べられるようにするために使用されます.デバイス内のウエファーの正しい位置を案内する指針のように考えてください
機能 と 効果
方向表示: 位置付けエッジは通常,ウエファの特定の結晶面の方向を示します.例えば,P型<100>シリコンウエファの場合,位置付けエッジは,その主な方向性を示すのに役立ちますこれは,異なる結晶方向性を持つシリコン結晶構造が物理的および電気的特性によって異なるためです.ウェファーの位置付けエッジの役割は,ウェファーの処理中にクリスタル方向が正しく識別されることを保証することです.
アライナメントマーク:ウエファー製造では,リトグラフィックアライナメント,エッチングアライナメントなど,複数のステップのアライナメント操作を行う必要があります.位置 付け 縁 は 地図 の 座標 識別 器 の よう に あり,その 装置 が ウェーファー の 位置 を 調整 し て 処理 の 正確 性 を 確保 する.
模倣例:ウエフルの位置付け縁は パズルの指示線と比べられます パーツを正しく組み立てる方法を教えてくれますパズルを正しく解くことができなくなるかもしれません.
2ウェーファーノッチ
ウェーファーノッチ (Wafer notch) とは,ウェーファーの外縁の小さな切断またはノッチである.この溝は位置付けエッジに似ている.また,ウェーファーの方向をマークする役割もある.しかし形と機能は違います通常,ノッチは物理的なノッチであり,位置付けエッジは平らである.
機能 と 効果
正確な位置付け:ノッチは,特に300mmのノッチなどの大きなウエファーで,より正確な方向識別を提供するためにしばしば使用されます.ノッチを通して,製造機器は,ウエフルの向きをより簡単に識別することができます.円盤の回転や軽い動きによるアライナメントの誤りを回避する.
アライナインメントの誤りを避ける:ノッチは自動化機器がプロセス全体でウエファーをより安定的に方向に保つのに役立つマーカーとして機能します.これは人間の誤りを軽減し,生産性を高めます.
車のタイヤのバルブ位置と比較できますが,これはタイヤの回転に影響しません.しかし,タイヤの位置付けの重要なポイントは,タイヤが正確にインストールできるようにすることです..
3. ワッファーフラットとノッチ間の接続
円盤の平面とノッチは,円盤の製造中に互いを補完する.平面は,円盤の一般的方向を示す,さらに正確な位置付けのための物理的なマーカーを提供している間両方とも,特に大きなウエファー (例えば300mmウエファー) で,ほとんどのアプリケーションに存在します.
ワッフル加工における協力の役割:
平面は,ウエファの全体的な方向性を決定し,ウエファの初期調整を保証します.さらに,ノッチは,デバイスがより正確に方向性を特定するのに役立つ物理的な特徴を提供します製造プロセス全体で正確性を保証します.
4実践的な応用における注意点
製造中の衝撃:平面とノッチの精度は,ホイール全体の加工精度にとって極めて重要です.これらの特徴の位置に誤りがある場合,ワッフル全体の電気特性が不安定になる可能性がありますしたがって,生産過程で,これらの特徴の正確性を確保することは非常に重要です.
標識方法の違い:異なるウエファーサプライヤーは異なる標識方法を使用する場合があります.例えば,一部のウエファは平面のみで,ノッチがない場合もあります.一部のウエファは平面にノッチを追加する場合もあります.これらのマークを設計する際には設備の互換性と生産プロセスの要件を考慮する必要があります.
5結論
円盤の平面とノッチは外見は異なるが,一緒に円盤の向きをマークし,並べ直し精度を保証する重要な役割を果たしている.平面はコンパスに似ている.一般的な方向性を決定するのに役立ちます切断は,製造中に方向の一貫性を確保するのに役立つより正確な物理的特徴である.これらの2つは,現代のウェーファー製造において不可欠な特徴である.特に大型のウエフルの生産においてより重要な役割を果たしています
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