エピタキシャルシート (EPI) とその適用

エピタキシアルシート (EPI) とは,主にP型,量子型,N型から成る基板に生長した半導体フィルムを指します.現在 主な表頭材料はガリウムナイトリド (GaN) で 基質材料は主にサファイアです3つの炭素化シリコン,量子井戸 一般的に5つの金属有機ガス相エピタキシ (MOCVD) のために一般的に使用される生産プロセス, それはLED産業の核心部分です,より高い技術とより大きな資本投資の必要性.

現在 シリコン基板の 普通の上位軸層,多層構造上位軸層,超高耐性上位軸層,超厚い上位軸層,エピタキシアル層抵抗は1000オム以上に達する導電型はP/P++,N/N+,N/N+,N/P/P,P/N/N/N+など多くの種類である.

シリコンエピタキシアルウエファは,消費者,産業,軍事,宇宙電子のアプリケーションを持つ幅広い半導体装置の製造に使用されるコア材料です.

最も重要なマイクロエレクトロニクスアプリケーションのいくつかは,複数の生産実証されたおよび業界標準のシリコンエピタキシプロセス技術を使用しています.

ダイオード

• スコットキーダイオード

• 超高速 ダイオード

• ゼナーダイオード

• PIN ダイオード

• 臨時電圧抑制器 (TVS)

• その他

トランジスタ

• パワー IGBT

電力DMO

• MOSFET

• 中程度の電力

• 信号が小さい

• その他

集積回路双極集積回路

■EEPROM

• 増幅器

• マイクロプロセッサ

• マイクロコントローラー

• ラジオ周波数識別

• その他

エピタキシアル選択性は,通常,エピタキシアル堆積の相対速度とインシチューエッチングの調整によって達成される.使用されたガスは,一般的に塩素を含む (Cl) シリコン源ガスDCSである.酸化物やナイトリドよりも小さい反応で,シリコン表面にCl原子の吸収によって実現される.SiH4はCl原子を含んでおらず,活性化エネルギーは低く,一般的に低温総エピタキシープロセスのみに使用される.また,一般的に使用されるシリコン源であるTCSは低蒸気圧で,室温では液体で,H2泡媒介器を通して反応室に輸入する必要があります.しかし,価格は比較的安い.その急速な成長率 (最大5um/min) は,比較的厚いシリコン上軸層を育てるためにしばしば使用され,シリコン上軸板の生産に広く使用されています.グループIVの元素の中で,Ge (5.646A) の格子定数はSi (5.431A) と最小の違いがあり,SiGeとSiプロセスの統合が容易である.単結晶SiにGeによって形成されたSiGe単結晶層は,帯間隔幅を小さくし,特徴的な切断周波数 (fT) を増加させることができる.ワイヤレスと光通信の高周波デバイスで広く使用される.さらに,高度なCMOS集積回路プロセスでは,GeとSiの格子定数不一致 (4%) によって導入された格子ストレスは,電子や穴の移動性を改善するために使用されます.装置の稼働飽和電流と応答速度を増加させるため半導体集積回路技術の研究で熱点となっている.

  固有シリコンの電導性が悪いため,その抵抗力は一般的に200ohm-cm以上である.装置の特定の電気特性を満たすために,通常,不浄ガス (ドーパンツ) を表軸成長に組み込むことが必要である..不浄ガスには2種類に分けられる.一般的に使用されるN型不浄ガスには,フォスファン (PH3) とアセンナン (AsH3) が含まれ,P型は主にボラン (B2H6) である.