クォーツ焦点リングとは?

             
クォーツ焦点リングは半導体プラズマエッチングプロセスの重要な消費元である.通常は高純度溶融クォーツで作られ,チップ製造に不可欠な役割を果たしますその主な機能は,プラズマを閉じ込め,導いて,ウエファー表面全体で高度に均一なエッチング性能を確保することです.

 

基本機能:
なぜ 彫刻 に 必要 な もの です か

プラズマエッチング中に,クォーツ焦点リングは主に以下の重要なタスクを実行します.

• 均質なエッチングのためのプラズマ焦点化特殊設計により プラズマを安定させ 円盤の端でも均質に保ちます"エッジ効果"をなくし,クレーンの表面全体に非常に一貫したエッチ率と重要な寸法 (CD) を確保します.
   
• 高価な機器の保護と部品の使用寿命の延長: 焦点リングは,直接プラズマ爆撃を承知し,電気静止チャック (ESC) などの底部の中核精密部品を損傷から守る消耗可能な保護シールドとして機能します.
   
• 汚染を防止し,ウエフルの生産量を保護する: 石英 は 金属 の よう な 有害 な 汚れ を 含ん で い ませ ん.そして プラズマ に 曝さ れ た 時 に ゆっくり に 酸素 を 放出 し ます.この酸素は,発掘時に生成されるポリマーと反応し,COやCO2のような簡単にポンプできるガスを形成しますワッフルの裏側に汚染を効果的に防ぐ.

       
Jingge Semiconductor 高純度クォーツ装置のカスタム加工 (5N,6N純度) 合成クォーツ,ガス溶融クォーツ,電気溶融クォーツ,クォーツ部品,クォーツエッチリングを含むクォーツ焦点リング,クォーツ・ウェーフ,光学クォーツ・シートなど 電話: 17826693981

なぜ 石英 を 用いる の か

      焦点リングには複数の材料の選択肢がありますが,クォーツは特性のユニークな組み合わせで顕著です.

• 超高純度半導体級クォーツは,通常99.998%以上の純度に達し,ウエファーへの金属不純物の汚染を最小限に抑え,信頼性の高いチップ出力の基礎となる.
• 化学腐食耐性: クォーツは,高腐食性エッチングガス (CF4,SF6,Cl2など) とプラズマによる侵食に耐える.
• 優れた熱安定性: クォーツは1000°C以上の温度に耐えることができ,高温プロセス全体で正確な寸法安定性を保証する非常に低い熱膨張係数を持っています.
• 適正な介電性特性: 介電常数 (約3.8) は,望ましいプラズマ焦点性能をサポートします.

製造と市場:
精密加工 と 世界 的 な 供給

• 精密加工: クォーツ焦点リングの製造には極めて高い精度要求があり,高度な5軸のCNC加工と磨き技術が必要です.主要な次元容量は ±0 の範囲で制御できます..02 mm,または ±0.001 mm,表面荒さ (Ra) は0.002 μm未満である.
• 主要なメーカー: 世界市場における主要なプレーヤーは,エンテグリス,コーーステック,ヘラエウス・クォーツ,トソー・クォーツなどの国際的リーダー,ゼンバオ・テクノロジーとジンゲ・セミコンダクターこの製品は,一般的にMXP+とCenturaシリーズなどのアプライドマテリアル (AMAT) の主流のエッチングプラットフォームと互換性があります.