半導体産業の連鎖において,特に第3世代の半導体 (広帯半導体) 産業の連鎖において,基板と上軸層の区別は極めて重要です.
エピタキシャル層の意義は? 基質とその違いは何ですか?
まず,基板は半導体単結晶材から作られたウエファーで,ウエファ製造過程で直接入力として半導体装置を製造するために使用できます.または,上軸加工で上軸のウエフラーを製造することができる.基板は,底層に位置するウエファーの基盤であり,ウエファ全体を支えている.チップ製造過程では,ウエファーは複数の独立したマートに切られる.そして包装後基板はチップの底部にあるベースで 複雑な構造はこのベースの上に構築されています
第二に,エピタキスは,細かく加工された単結基板上に新しい単結層の成長を指します.この新しい単一結晶は 基板材料と同じか 異なる材料かもしれません塩基配列は,塩基配列の塩基配列と等しく,同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同型同厚さ は 通常 数 マイクロン ですシリコンを例に挙げると,シリコン上位生殖の重要性は,同じ結晶方向性,異なる抵抗性,特定の結晶向きのシリコン単結基板の厚さ.
エピタキシアル成長後の基質は,エピタキシアル・ウェーファーと呼ばれ,その構造は,エピタキシアル層と基質として表現することができる.装置の製造プロセスは,上軸層で行われます..
エピタキスは,ホモエピタキシャルとヘテロエピタキシャルに分かれます.ホモエピタキシャルとは,基板上の基板と同じ材料のエピタキシャル層を成長させることを意味します.ホモエピタキアルの重要性は,製品の安定性と信頼性を向上することです.ホモエピタキシア層は基板と同じ材料でできていますが,エピタキシア処理により,材料の純度とウエファー表面の均一性が向上できます.メカニカル・ポーリングで磨いたウエファーと比較すると表面の表面は平坦性や清潔性が高く,微小の欠陥が少なく,表面の汚れが少なくなり,抵抗性が均一になります.表面の粒子のような欠陥を制御するのが簡単です積み重ねの欠陥や外れ
CMOS シリコン プロセスでは,シリコンはウェッファー基板の上位軸成長は重要なプロセスステップです.
1結晶の質を向上させる: 初期基板の欠陥と不純性は,表頭層の成長によって改善することができる.製造過程で,ウエファー基板は特定の欠陥と不純物を発生させることがあります.エピタキシアル層の成長により,質の高い,欠陥が少ない,不純度濃度の単結晶シリコン層が基板に生成されます.デバイスの製造に不可欠です.
2均一な結晶構造:上軸成長は結晶構造の均一性を確保し,粒の境界や基板材料の欠陥の影響を軽減することができます.ワッフル全体の結晶質を向上させる.
3電気性能を向上させ,デバイスの特性を最適化します. 基板に上軸層を植え付けることで,ドーピング濃度とシリコンの種類は,装置の電気性能を最適化するために正確に制御できます.例えば,上軸層のドーピングは,MOSFETの限界電圧および他の電気パラメータを正確に調整することができます.
4. 流出電流を減らす: 高品質の角軸層は,デバイス内の流出電流を減らすのに役立ちます. これにより,デバイスの性能と信頼性を向上します..
5. 先進的なプロセスノードをサポートし,機能サイズを小さくします:より小さなプロセスノード (7nm,および5nmなど) では,デバイス機能サイズは引き続き縮小します.より洗練された高品質の材料を必要としますエピタキシアル成長技術は,これらの要件を満たし,高性能および高密度の統合回路製造をサポートすることができます.
6. 破裂電圧を改善する:上軸層は,高電力および高電圧デバイスの製造に不可欠な,より高い破裂電圧を持つように設計することができます. 例えば,電源装置に装置の断熱電圧を増加させ,安全な動作範囲を拡大することができます.
7プロセスの互換性と多層構造:上軸成長技術は基板上に多層構造の成長を可能にします.異なる層には異なるドーピング濃度と種類がある複雑なCMOSデバイスの製造と 3次元統合を達成するのに非常に役立ちます
8互換性: The epitaxial growth process is highly compatible with existing CMOS manufacturing processes and can be easily integrated into existing manufacturing processes without significantly modifying the process lines.
