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| 起源の場所 | 中国 |
| ブランド名 | zmsh |
| 証明 | ROHS |
| モデル番号 | 6INCH GaAsのウエファー |
10x15mmは100 Feとのオリエンテーション ガリウム酸化物の高の基質100のオリエンテーション添加した
10x15mmガリウム酸化物の高の基質100のオリエンテーション
10x10mmガリウム酸化物の基質の単斜の構造
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高の基質は電子工学、光電子工学および力装置の多くの潜在的な適用の広いbandgap半導体材料であるガリウム酸化物（高）から成っている基質を示す。高の基質は高性能電子および光電子工学装置で使用される他の材料の薄膜を、ガリウム窒化物（GaN）またはアルミニウム ガリウム酸化物（AlGaN）のような育てるためにプラットホームとして普通使用される。
高の基質はサファイアおよび炭化ケイ素のような他の基質材料上の複数の利点が、ある。例えば、高に強力な適用のよりよい熱放散を可能にするサファイアより高い熱伝導性がある。さらに、高に集積回路の性能を改善できる炭化ケイ素より高い比誘電率がある。
但し、他の基質材料と比較される高の基質は比較的新しく、企業の広まった採用を限った高いまだ。それにもかかわらず工程を改善し、さまざまな適用の高められた採用をもたらすことができる高の基質のコストを削減すると、進行中の研究開発の活動は期待される。
高の基質に電子工学、光電子工学および力装置で潜在的な適用の広い範囲がある。高の基質が使用されるか、または提案された適用のある例は下記のものを含んでいる:
1. 強力な電子工学:高の基質は電力増幅器および無線周波数スイッチのような強力な電子デバイスで使用されるGaNおよびAlGaNのフィルムを育てるためにプラットホームとして使用することができる。
2. 紫外線発光ダイオード（LEDs）:高の基質が浄水および殺菌のような適用のための紫外線LEDsを作るのに使用することができるAlGaNの良質のフィルムを育てるのに使用することができる。
3. 太陽電池:高の基質が銅のインジウム ガリウム セレン化物（CIGS）および太陽電池で使用される他の材料の薄膜を育てるのに使用することができる。高の高い熱伝導性は熱をもっと効果的に散らすことによって太陽電池の効率の改善を助けることができる。
4. パワー エレクトロニクス:高の基質は電源スイッチおよびインバーターのようなパワー エレクトロニクス装置で使用される成長ガリウム酸化物フィルムのためにプラットホームとして使用することができる。
5. 光電子工学:高の基質がLEDs、レーザーおよびフォトディテクターのような光電子工学装置で、使用されるさまざまな材料の良質のフィルムを育てるのに使用することができる。
これらは高の基質の潜在的な適用のちょうど少数の例である。この区域の研究開発は続くので、新しく、革新的な適用が現れることは本当らしい。
| オリエンテーション | 100 | 100 | 100 |
| 添加 | UID | Mg | Fe |
| 電気変数 |
1×1017~3×1018cm-3 |
≥1010Ω·cm
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≥1010Ω·cm
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arcsec |
≤150 | ≤150 | ≤150 |
| 転位密度 | <1×105 cm-2 | <1×105 cm-2 | <1×105 cm-2 |
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