ZMSHは、純度99.9%までのAl₂O₃セラミック材料から製造されたカスタム高純度アルミナセラミック部品を供給しています。これらの部品は、電気絶縁性、機械的強度、寸法安定性、耐摩耗性、耐食性、高温性能の組み合わせが必要な用途向けに設計されています。8.配送国
当社のアルミナセラミック部品は、顧客の図面、サンプル、または用途要件に従って製造でき、半導体装置、真空システム、電子機器、高温処理システム、精密機器、その他の要求の厳しい産業用途に適しています。
代表的な材料特性
特性
| 材料 | アルミナセラミック (Al₂O₃) |
| 寸法 | 最大99.9% |
| 密度 | 約3.9~3.95 g/cm³ |
| ビッカース硬度 | 約17~18 GPa |
| 熱伝導率 | 室温で約30~35 W/m・K |
| 熱膨張係数 | 約8 × 10⁻⁶/K |
| 電気絶縁性 | 優れています |
| 吸水率 | 高密度セラミックではほぼゼロ |
| 最高使用温度 | 適切な無負荷条件下で約1700~1750℃まで |
| 耐薬品性 | 多くの化学薬品およびプロセス環境に対して優れています |
| 表面仕上げ | 用途に応じてカスタマイズ可能 |
| 寸法 | 図面に応じてカスタム |
| ・溝寸法 | 材料特性は、アルミナの純度、成形プロセス、焼結条件、部品の形状によって異なる場合があります。最終仕様は、要求されるセラミックグレードと図面に従って確認する必要があります。 |
製品のハイライト・99.9%高純度アルミナセラミック
・優れた電気絶縁性
・高い硬度と耐摩耗性
・高温安定性
・良好な耐薬品性および耐食性
・要求の厳しい産業環境向けの低汚染性
・半導体製造装置に適しています
・カスタム穴、溝、段差、ねじ、複雑な形状が利用可能
カスタムアルミナセラミック加工
標準的なセラミック形状のみを供給するのではなく、図面ベースのカスタムアルミナセラミック部品に注力しています。
・セラミックリング・セラミックブッシュ8.配送国
・セラミックインシュレーター
・セラミック位置決め部品
・セラミックプレート
・セラミックディスク
高密度アルミナセラミックは、従来の金属やエンジニアリングプラスチックよりもはるかに高い硬度を持っています。
・セラミックサポート部品
・セラミックシール部品
・セラミック真空部品
・半導体装置用セラミック部品
精密穴、溝、スロット、段差、切り欠き、皿穴、複雑なプロファイルなどの機能も、顧客の図面に従って評価できます。
・精密セラミック構造部品
高純度アルミナセラミックを使用する理由
1.優れた電気絶縁性
アルミナセラミックは優れた誘電特性と電気絶縁性を提供するため、電極、導電体、ヒーター、センサー、高電圧アセンブリの近くに配置される部品に適しています。
一般的に以下のような用途で検討されます。
・電気絶縁体
・フィードスルー部品
・センサー部品
・半導体装置用絶縁部品
2.高い硬度と耐摩耗性
高密度アルミナセラミックは、従来の金属やエンジニアリングプラスチックよりもはるかに高い硬度を持っています。
これにより、セラミック部品は、以下のような用途で寸法と表面状態を維持できます。
・機械的接触
・摺動
・粒子摩耗
・ウェーハハンドリング
・精密機器の動き
高い耐摩耗性は、部品の寿命を延ばし、交換頻度を減らすのに役立ちます。
3.高温安定性
高純度アルミナは、ほとんどのエンジニアリングプラスチックや多くの従来の材料の動作限界をはるかに超える温度でも、良好な構造安定性を維持します。
したがって、以下のような用途で検討できます。
・炉設備
・加熱システム
・プロセスチャンバー
・熱絶縁構造
・半導体熱処理装置
実際の許容動作温度は、機械的負荷、雰囲気、熱サイクル、部品の設計によって異なります。
4.耐薬品性および耐食性
アルミナセラミックは、多くの腐食性プロセス環境に対して良好な化学的安定性を提供します。
この特性は、以下のような用途で使用されるセラミック部品に役立ちます。
・半導体製造装置
・化学処理システム
・実験装置
・洗浄装置
・高純度プロセス環境
半導体装置用アルミナセラミック部品
高純度アルミナは、電気絶縁性、高硬度、熱安定性、比較的低い汚染性を兼ね備えているため、半導体製造装置で広く使用されています。
一般的な部品には以下が含まれます。
・チャンバー用セラミック部品
・電気絶縁リング
・ウェーハハンドリング部品・セラミック位置決めピン8.配送国
・ヒーター絶縁部品
・セラミックスペーサーおよびブッシュ
・装置治具
・精密セラミック構造部品
半導体用途の場合、セラミックの純度、表面状態、寸法公差、洗浄要件は、実際のプロセス環境に応じて指定する必要があります。
精密カスタマイズ
カスタム部品の場合、以下の情報が製造可能性の評価に役立ちます。
材料
要求されるアルミナ純度を指定してください。例:
・95% Al₂O₃
・96% Al₂O₃
・99% Al₂O₃
・99.9% Al₂O₃
以下を提供してください:
・外径
・内径
・長さ
・厚さ
・穴径
受け入れ可能な図面形式には、PDF、DWG、DXF、STEPが含まれます。
公差
重要寸法公差は、必ずエンジニアリング図面に直接記入してください。
表面要件
ほとんどのアルミナセラミック部品はカスタム品であるため、見積もり前に図面を提供することを強くお勧めします。
見積もり依頼方法
・研削
・研磨
・平面度
数量
以下のおおよその数量を提供してください:
・プロトタイプ
・小ロット
・量産ロット
以下を提供してください:
1.アルミナ純度
半導体装置
電気絶縁部品、チャンバー部品、ウェーハハンドリング部品、装置治具、精密セラミック構造。
真空装置
セラミック絶縁、構造部品、スペーサー、低汚染性と高い寸法安定性を必要とする部品。
電子機器
高温装置
精密産業機器
品質管理
検査項目には以下が含まれる場合があります:
・寸法検査
・穴径
・平面度
・平行度
・表面状態
・重要寸法公差
検査要件は、特に半導体および精密機器用途の場合、製造前に定義する必要があります。
見積もり依頼方法
ほとんどのアルミナセラミック部品はカスタム品であるため、見積もり前に図面を提供することを強くお勧めします。
以下を提供してください:
1.アルミナ純度
2.図面または寸法
3.重要公差
4.表面仕上げ要件
6.動作温度7.必要数量8.配送国
受け入れ可能な図面形式には、PDF、DWG、DXF、STEPが含まれます。
完全な技術情報を提供することで、製造可能性の評価とより正確な見積もりが可能になります。
よくある質問
Q1: 図面に従ってアルミナセラミック部品を製造できますか?
はい。カスタムアルミナセラミック部品は、顧客の図面、寸法、公差、表面要件、および用途条件に従って評価できます。
Q2: どのようなアルミナ純度を提供できますか?
用途に応じて異なるアルミナグレードを評価できます。半導体、電気絶縁、高純度用途では、一般的に99.5%および99.9%のアルミナが検討されます。
Q3: 見積もりにはどのような情報が必要ですか?
図面、アルミナ純度、寸法、公差、表面要件、数量、用途を提供してください。精密セラミック部品の場合、PDF、DWG、DXF、またはSTEP図面が推奨されます。