プロダクト細部
Place of Origin: CHINA
ブランド名: ZMSH
証明: rohs
Model Number: Silicon carbide ceramic chuck
支払いと送料の条件
価格: by case
Payment Terms: T/T
Item:: |
Silicon carbide ceramic chuck |
Thermal Stability:: |
High Temperature Stability |
Type:: |
Ceramic Plate |
Max Use:: |
1800 ºC |
Tolerance:: |
±0.001 mm or Custom |
Size:: |
Customized |
Specification:: |
Customize |
Usage:: |
Photoelectric Lighting, Semiconductor |
Item:: |
Silicon carbide ceramic chuck |
Thermal Stability:: |
High Temperature Stability |
Type:: |
Ceramic Plate |
Max Use:: |
1800 ºC |
Tolerance:: |
±0.001 mm or Custom |
Size:: |
Customized |
Specification:: |
Customize |
Usage:: |
Photoelectric Lighting, Semiconductor |
製品概要
シリコンカービッドセラミック・チャック/トレイは,半導体,LED,光伏などの精密製造分野で使用される高性能の固定装置で,主にウエフルの固定および輸送に使用されます.サファイア基板精密加工で製造されるシリコンカービード (SiC) のコア材料で,優れた物理的および化学的特性があります.そして,高精度と高安定性の加工ニーズを満たすことができます.
製品パラメータ
| (物質的財産) | (ユニット) | (シシ) | |
| (SiC含有量) | (Wt) % | >99 | |
| (平均粒の大きさ) | マイクロン | 4から10 | |
| (密度) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (表面に毛孔がある) | % | <0.5 | |
| (ビッカーの硬さ) | HV05 | GPa | 28 |
| *() 折りたたみ強度* (3ポイント) |
20°C | MPa | 450 |
| (圧縮強度) | 20oC | MPa | 3900 |
| (弾性モジュール) | 20°C | GPa | 420 |
| (骨折強度) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (熱伝導力) | 20°oC | W/(m*K) | 160 |
| (抵抗力) | 20°oC | オーム.cm | 106~108 年 |
(熱膨張係数) |
オーケストラ80oC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(最大動作温度) |
ooC | 1700 | |
製品の特徴
1超高硬さと耐磨性: ダイヤモンドに近い硬さ,優れた耐磨性,長期にわたる高強度加工に耐え,使用寿命を大幅に延長する.
2熱管理性能が優れている high thermal conductivity and low thermal expansion coefficient to ensure rapid heat dissipation in high temperature environments and maintain dimensional stability to avoid deformation caused by thermal stress.
3優れた化学的安定性: 強い腐食耐性,酸や塩基や様々な化学溶媒に耐える能力,厳しいプロセス環境に適しています.
4高等な平らさと表面の仕上げ:精密加工後,表面の平らさはマイクロンレベルまであり,加工中に高精度と低汚染を保証します.
製品使用
半導体製造において,シリコンカービッドセラミックチャックは,高精度加工を保証するために,ウェーファー切断,磨き,リトグラフィーおよびその他の重要なプロセスに使用することができる.LED生産におけるサファイア基板加工のための軸承プラットフォームとして切断,磨き,角関節の成長を 支援します
さらに,シリコンカービッドセラミックチャックは,CVDやPVDなどの高温機器のトレイとして使用されます.極端な環境に耐えるため高温プロセスを使用し,安定性を維持する光伏産業では,加工効率と生産性を向上させるために,シリコン・ウェーファー切断と薄膜太陽電池製造に使用されています.
製品表示
製品に関するQ&A
1Q: シリコンカービッドセラミックチャックとは?
A: シリコンカービッドセラミック・チャックは,半導体,LED,太陽光発電の製造のための高性能の固定装置で,主にウエファー,サファイア基板,その他の材料を保持し運搬するために使用されます.硬さが高い熱伝導性が高く,化学的安定性が優れている.
2.Q: シリコンカービッドセラミックチャックの主な利点は何ですか?
A: シリコンカービッドセラミックチャックの主な利点は,高い耐磨性,優れた熱管理性能,高い平ら性,耐腐蝕性,高精度加工や高温処理のニーズを満たす.
タグ: #SIC #シリコンカービッドセラミックチャック #セラミックエレメント #真空吸い器のカスタマイズ #高精度
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