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| 直径: | 4インチ（100mm） | 厚さ範囲: | 0.5mm~1.5mm |
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| 表面粗さ（研磨）: | ≤0.5nm | 193nmにおける透過率: | >93% |
| CTE (20-300°C): | 0.55×10−6/°C | パラレリズム: | ≤3μm |
| ハイライト: | カスタム厚さ範囲 クォーツ・ウェーファー,Ra0.5nm クォーツ・ウェーファー |
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ZMSHは高性能光電子,半導体,MEMSアプリケーションに対応する精密製造の4インチクォーツウエファーに特化した. 4インチクォーツウエファは,より小さなフォーマットとは異なり,多層統合のための拡張された表面面積を提供し,高度なデバイスのスケーラブルな生産を可能にします. 主要な特徴は: わかった
1材料:高純度溶解シリカ (SiO2) <50ppmのヒドロキシル (OH−) 含有量と <0.1ppmの金属性不純度で,非常に低い光学損失を保証します. わかった
2寸法:カスタム直径 (100.00 mm ±0.25 mm) と厚さ (0.525~1.200 mm,TTV ≤10 μm) わかった
3形状: 円形,四角形,または不規則な幾何学,非標準的な開口,ステップエッジ,またはグラデント厚さ.
4. 表面塗装: 極光滑な表面 (Ra ≤1.0 nm) で,最小限の光散布を可能にします.
| パラメータ | 仕様 |
| 直径 | 100.00 mm ±0.25 mm |
| 厚さ範囲 | 0.525~1.200mm |
| 総厚さ変化 (TTV) |
≤10 μm (直径300 mm) 4 |
| 表面の荒さ (Ra) | ≤1.0 nm |
| 紫外線 伝播 |
>92% @185~3500 nm 1 |
| 熱膨張係数 (CTE) |
0.55×10−6/°C (20~300°C) 1 |
| 抵抗性 (350°C) | >7×107 Ω·cm |
1オプティカル優位性
ブロードスペクトル伝達: >92% 伝達力 185nm (UV) から 3500nm (IR) まで,UVリトグラフィーと量子センシングに最適です.
低熱膨張:CTE 0.55×10−6/°C (20~300°C),尺寸安定性を1100°Cまで維持する.
2. 機械的・化学的耐性
高硬さ:モーススケール7 磨損や機械ショックに耐える
酸耐性: 陶器よりも30倍耐久性があり,攻撃的な化学環境に適しています.
3電気性能
隔熱:抵抗性 >7×107 Ω·cm (350°C),高周波回路における寄生容量を最小化する.
SAW互換性: 切断角度が正確な表面音響波 (SAW) フィルターに最適化 (例えばFC切断では34.33°).
1先進的なMEMS装置
圧感センサー,ジロスコップ,インクジェットプリンタヘッドは,多層統合と熱安定性のために4インチワッフルを活用しています.
わかった
2オプトエレクトロニックシステム
UVレーザーダイオード,光ファイバーコリマター,低損失光路を必要とするLiDARコンポーネント
3半導体パッケージ
CMOS画像センサーとRFIC用のワイファーレベルパッケージング (WLP) 基板,TSV (Through-Silicon Via) 技術をサポートする.
わかった
4量子技術
ダイヤモンドの窒素空白 (NV) センターと超伝導量子ビットの基板,欠陥密度が極めて低い.
わかった
4インチクォーツウエフルの 完全なカスタマイゼーションを提供しています
1精密加工:CNCダイヤモンド回転で,<1μmの寸法精度を得る.
2表面処理:ARコーティング (反射<0.5%),水害性フィルム (水接触角>150°).
3急速なプロトタイプ作成: 5~7日,ハイブリッド幾何学 (例えば,穴+ノッチ) をサポートするサンプル.
1Q:なぜ4インチクォーツのウエファーを使うのか?
A: 4インチクォーツウエファは,コスト効率と精度をバランスして,MEMSセンサー,光学フィルター,カスタマイズ可能な厚さの半導体包装 (0.5~1.) に最適です.5 mm) と超低表面荒さ (Ra ≤0. 5 nm)
24インチクォーツウエフをどの業界で使っていますか?
A: MEMSデバイス,光ファイバーシステム,先進的な半導体製造において,高純度溶融シリカと例外的な熱安定性 (CTE 0.55×10−6/°C) を活用して重要な役割を果たしています.
タグ:#3インチクォーツ基板 #カスタマイズ #溶融シリカプレート #SiO2クリスタル #クォーツウエファー #JGS1/JGS2グレード #高純度 #溶融シリカ光学部品 #クォーツグラスプレート#カスタム形 透孔半導体製造,厚さ範囲0.5mmから1.5mm,Ra ≤0.5nm
コンタクトパーソン: Mr. Wang
電話番号: +8615801942596
