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商品の詳細:
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| 直径: | 6インチ (150mm) | 厚さの許容度: | ±0.02mm |
|---|---|---|---|
| 総厚さの変化: | ≤10μm | 表面の荒さ: | ≤0.5nm Ra |
| パラレリズム: | ≤3μm | 耐性: | >1016 Ω·cm |
| ハイライト: | 6インチ石英ガラスウェーハ,150mm石英ガラスウェーハ,SiO₂ 石英ガラスウェーハ |
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ZMSHは6インチ石英ウェーハの製造を専門としており、以下を提供しています。
マルチサイズカスタマイズ：標準の6インチウェーハに加えて、4インチ、8インチ、12インチのバリアント
エッジ処理：面取りエッジ、ノッチ、オリエンテーションフラットのオプション
表面処理：カスタム研磨、コーティング、パターニングサービス
| 仕様直径 | 6インチ（150mm） |
| 厚さ範囲 | 0.5mm～3.0mm |
| 厚さ公差 | ±0.02mm |
| 全厚変動 | ≤10μm |
| 表面粗さ（研磨） | ≤0.5nm Ra |
| 平行度 | ≤3μm |
| CTE（20-300℃） | 0.55×10⁻⁶/℃ |
| 50-70 MPa（化学強化オプションあり） | >92% |
| 抵抗率 | >10⁶ Ω・cm |
| 真空適合性 | 10⁻⁰ Torr |
| 曲げ強度（強化） | 500-700MPa |
| | 主な特性 |
| ≥99.999% SiO₂含有量 | CTE（20-300℃） |
| 0.55×10⁻⁶/℃（超低熱膨張） | 引張強度 |
| 50-70 MPa（化学強化オプションあり） | 光線透過率 |
| >92% @190-3500nm（UVからNIRスペクトル） | 電気的特性 |
| 抵抗率 >10⁶ Ω・cm、圧電係数 | |
| 戦略的アプリケーション | 6インチ石英ウェーハの |
チップ製造
、および関連分野で広く使用されており、特に以下の製造に利用されています。- メモリチップ（DRAM、NANDフラッシュ）- アナログ/パワーデバイス（IGBT、MOSFET）
- 高度なセンサー（MEMS、CMOSイメージセンサー）
2. 光学部品その
高い光線透過率と
超低CTE
により、石英ウェーハは以下に最適です。- 精密レンズ（圧力、慣性、バイオセンサー）- 光学フィルター（バンドパス、ダイクロイック）
- 導波路（フォトニックIC、ファイバー結合素子）
3. MEMS（微小電気機械システム）石英ウェーハは、その
寸法安定性と
機械的堅牢性
により、MEMSデバイスのプレミアム基板として機能し、以下を含みます。- マイクロセンサー（圧力、慣性、バイオセンサー）- マイクロアクチュエータ（RFスイッチ、圧電トランスデューサ）
- 共振器（5Gフィルター、タイミングデバイス）
4. 高温ポリSi TFT-LCD石英ウェーハは、
高性能ディスプレイの製造に不可欠であり、具体的には以下に使用されます。
- HTPS（高温ポリSi）TFTバックプレーン
- マイクロディスプレイ（AR/VR、LCoS）- 高度なLCDパネル
（OLEDエンキャプシュレーション基板）
6インチ石英ウェーハのカスタム製造サービス
6インチ石英ウェーハ
- 超音波ドリル（アスペクト比10:1）
3. 表面エンジニアリング：
- ナノ研磨（Ra
<0.3nm）
- DUV/IR反射防止コーティング
4. 品質保証：
- クラス10クリーンルーム処理- 完全なメトロロジーレポート（TTV、ワープ、ボウ）
FAQ
6インチ石英ウェーハの
1. Q: 半導体製造において、6インチ石英ウェーハがより小さいサイズよりも優れている点は何ですか？
A: 6インチ（150mm）石英ウェーハは、4インチウェーハよりも56%多くの使用可能面積を提供し、エッジ除外損失を大幅に削減し、高度なパッケージングとMEMS製造のスループットを向上させます。
コンタクトパーソン: Mr. Wang
電話番号: +8615801942596
