プロダクト細部
起源の場所: 中国
ブランド名: ZMSH
証明: rohs
モデル番号: 2インチ 3インチ 4インチ 6インチ 8インチ 12インチ クォーツウエーファー
支払いと送料の条件
最小注文数量: 10
価格: by case
パッケージの詳細: 100グレードのクリーンルームでの梱包
受渡し時間: 5-8weeks
支払条件: T/T
供給の能力: 月1000個
サイズ: |
2inch 3inch 4inch 6inch 8inch 12inch |
LTV: |
<0.5μm |
TTV: |
< 2μm/3μm/5μm |
表面タイプ: |
ssp/dsp |
表面の荒さ: |
≤1nm |
申請: |
半導体リトグラフィーマスク,UV光学装置 |
サイズ: |
2inch 3inch 4inch 6inch 8inch 12inch |
LTV: |
<0.5μm |
TTV: |
< 2μm/3μm/5μm |
表面タイプ: |
ssp/dsp |
表面の荒さ: |
≤1nm |
申請: |
半導体リトグラフィーマスク,UV光学装置 |
クォーツウエファは,高純度合成クォーツ材料で作られた精密基板で,半導体,光電子,光学,微電子機械システム (MEMS) に広く使用されています. ZMSHは,クォーツ半導体材料の研究開発と生産に特化したもので,クォーツウエファー,クォーツ光窓,クォーツチューブ,クォーツボートなどの製品を提供しています.クォーツ・ウエーファーがメイン製品ラインです. 2インチから12インチのウエフルのカスタマイズ可能なソリューションを提供し, サイズ,厚さ,表面処理 (磨き,コーティングなど) の特定の要件を満たしています.
ZMSHは,高精度 (例えば,TTV ≤5μm),優れた平坦性 (Ra ≤1nm) を保証する,在庫利用とカスタム加工サービスを提供します.優れた高温耐性 (柔らか点1730°Cまで). 私たちの製品は半導体製造,フォトマスク技術,センサー,レーザーシステムに広く適用されています.
| サイズ | インチ | 2インチ | 3インチ | 4インチ | 6インチ | 8インチ | 12インチ |
|
直径 |
mm | 50.8 | 76.2 | 100 | 150 | 200 | 300 |
| 容量 (±) | mm | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
| 厚さ | μm | 100歳以上 | 100歳以上 | 100歳以上 | 300以上 | 400歳以上 | 500以上 |
| 主要基準フラット | mm | 32.5 | 32.5 | 32.5 | 57.5 | 半角型 | 半角型 |
| LTV (5mmx5mm) | μm | < 0 でした.5 | < 0 でした.5 | < 0 でした.5 | < 0 でした.5 | < 0 でした.5 | < 0 でした.5 |
| TTV | μm | < 2 | < 2 | < 2 | < 3 | <3> | <5 |
| 身をかがめる | μm | ±20 | ±20 | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 |
| ワープ | μm | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 |
| PLTV ((5mm*5mm) <0.4um | % | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% | ≥95% |
| エッジの丸め | mm | セミ STD | セミ STD | セミ STD | セミ STD | セミ STD | セミ STD |
| 表面タイプ | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | SSP/DSP | |
| 表面の荒さ | nm | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
クォーツウエフルの基本的な性質は以下の通りである.
1高純度素材: 合成クォーツ (例えば,SuprasilまたはCorning 7980) SiO2純度 ≥99.99%,半導体プロセスにおける不純物を最小限に抑える.
2熱安定性: 熱膨張系数が低い (5.5×10−7/°C),極端な環境では1000°Cを超える温度に耐える.
3. オプティカルパフォーマンス:UVからIR波長への高い伝達性 (例えば深紫外線では>90%),リトグラフィやレーザー用途に最適です.
4表面精度: 表面粗さ (Ra) ≤0.5nm,総厚さ変化 (TTV) ≤5μmの超精密磨き
5サイズ範囲: 標準サイズ2インチ,4インチ6インチ8インチから12インチカスタム仕様に対応する.
6化学的惰性: 強い酸 (HFを除く),アルカリ,プラズマエッチングに耐性があり,半導体処理に適しています.
クォーツウエフルは,先端技術分野において,以下のとおり重要な役割を果たします.
| 適用分野 | 特殊用途 | クォーツ ワッフル の 利点 |
| 半導体製造 | - フォトマスク基板 - エッチングプロセスのキャリア - CMP ポーリングパッド - 暫定的な粘着用ウエーファー |
高平面性,低熱膨張性,プラズマ腐食耐性 |
| 光電子機器 | - レーザー窓 - 光学フィルター基板 - IRセンサー基板 - 光検出器のパッケージ |
高いUV-IR伝達性,吸収損失が低い |
| MEMS/NEMS | - MEMS 構造層 - 精密感知器用弁 - ナノプリントテンプレート |
超滑らかな表面,高硬さ,化学的安定性 |
| 5G&RFデバイス | - SAW/BAWフィルター基板 - 高周波アンテナベース - マイクロ波ダイエレクトリック共鳴器 |
低ダイレクトリック損失,安定した高周波信号性能 |
| 研究と光学 | - シンクロトロン放射線光学 - X線反射窓 - 高性能レーザー鏡 |
放射線耐性,レーザーダメージの高値 |
| 新しいエネルギー | - PVセルコーティング基板 - 燃料電池の電解質層 - リチウム電池分離器の研究 |
高温耐性,イオン移動防止 |
総合的なクォーツ・ウェーファーソリューション:ZMSHは,精密加工 (磨き,コーティング,など) でカスタムクォーツ・ウェーファー生産 (2"-12"標準/非標準サイズ) を提供します.) 高純度素材 (UVグレードの溶融シリカ) を使った低OHクォーツ). 当社のサービスには,在庫の 4"/6"/8" ウェーファー,補助製品 (光窓,クォーツチューブ),完全なテスト認証,材料選択とプロセス最適化のための技術サポートが含まれます.
1Q: 半導体用にはどのサイズのクォーツウエフが利用可能ですか?
A: 標準的な2インチから12インチまでのクォーツウエーファーを,カスタムサイズと仕様で提供します.
2Q: 半導体製造におけるクォーツウエフルの利用の主要な利点は?
A: クォーツウエーファー は 熱 安定 性,高 純度,化学 耐性 が 優れ て い ます.それ で 要求 に かなっ た 半導体 工 業 に 最適 です.
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