2インチ直径 50.8mm 4H-N型 SiC 高温センサー用 エピタキシアル・ウェーファー

2インチ直径50.8 mm 4H-N型SiCエピタキシャルウェーハ（高温センサー用）

ZMSHは、SiC基板およびエピタキシャルウェーハの研究開発および製造において10年以上の経験を持ち、世界をリードする炭化ケイ素半導体材料ソリューションプロバイダーです。 当社は、結晶成長からウェーハ加工、エピタキシャル堆積まで、完全に統合された垂直サプライチェーンを確立し、完全なプロセス自律性を実現しています。 当社の製品ポートフォリオは、2インチから12インチまでのフルサイズ仕様をカバーしており、4H/6H-N型、4H/6H-P型、3C-N型SiCなどのさまざまなポリタイプ、および多様なアプリケーションシナリオに対応するHPSI（高純度半絶縁性）およびSEMI規格ウェーハを含みます。 高度な結晶成長技術と厳格な品質管理システムを活用し、200社を超えるグローバルクライアントに高品質なSiC材料ソリューションを提供しており、新エネルギー、5G通信、鉄道輸送などの戦略的成長産業で広く製品が採用されています。

2インチSiCエピタキシャルウェーハ4Hの主なパラメータ

(注：すべてのパラメータは、お客様の要件に応じてカスタマイズ可能であり、完全な試験報告書と品質証明書が提供されます。)

2インチSiCエピタキシャルウェーハ4Hの主な特徴A: 高周波性能とエネルギー効率により、EVインバータ、5G RFデバイス、産業用パワーモジュールに最適です。

1. 優れた電気的特性

・4H-SiCは、3.2eVの広いバンドギャップと2MV/cmを超える絶縁破壊電界強度を備えており、シリコン材料の10倍です。これらの特性により、高電圧、高出力の電子デバイスの製造に特に適しており、導通損失を大幅に削減し、システム効率を向上させます。

・電子飽和ドリフト速度は2×10^7 cm/sに達し、高周波アプリケーションで明確な利点があります。

2. 優れた熱管理能力

・熱伝導率は4.9W/cm・Kと高く、シリコン材料の3倍であり、高電力密度デバイスにおける放熱の課題に効果的に対応します。

・4×10^-6/Kの低い熱膨張係数は、高温動作環境での優れた寸法安定性を維持します。

3. 優れた材料品質

・高度なステップ制御エピタキシャル技術により、業界をリードするエピタキシャル層転位密度1×10^3 cm^-2未満を実現しています。

・精密な化学機械研磨により、表面粗さを0.2nm（Ra）以内に制御し、最も厳しいデバイス製造要件を満たしています。

4. 例外的なプロセスの一貫性

・厚さ均一性は±2%以内に、ドーピング濃度偏差は5%未満に制御されており、安定した信頼性の高い量産を保証します。

・高度なオンラインモニタリングシステムにより、リアルタイムのプロセス制御と正確な調整が可能になります。

2インチSiCエピタキシャルウェーハ4Hの主な用途

1. 新エネルギー車分野A: 高周波性能とエネルギー効率により、EVインバータ、5G RFデバイス、産業用パワーモジュールに最適です。

・車載充電システムに適用され、より高出力の急速充電要件をサポートします。

2. 産業用パワーエレクトロニクス

・スマートグリッド、産業用周波数コンバータなどに使用され、エネルギー変換効率を劇的に向上させます。

・鉄道輸送や海洋電力システムなどの要求の厳しい環境に特に適しています。

3. 5G通信インフラ・5G基地局パワーアンプの理想的な基板材料であり、より高い周波数とより大きな電力のRF信号処理をサポートします。

・衛星通信システムで優れた性能を発揮します。

4. 航空宇宙および防衛

・レーダーシステムおよび電子戦機器の重要な材料です。

・極限環境における信頼性と安定性の要件を満たしています。

5. 再生可能エネルギー発電

・太陽光発電インバータの最適な選択肢であり、発電効率を向上させます。

・風力発電システムの主要コンポーネント材料です。

ZMSHのSiCエピタキシャルウェーハサービス

SiC材料分野におけるフルソリューションプロバイダーとして、ZMSHは、2インチから12インチまでのSiC基板およびエピタキシャルウェーハのワンストップソリューションを提供しており、4H/6H-N型、4H/6H-P型、3C-N型、HPSIウェーハを含むさまざまなポリタイプをカバーし、結晶方位、ドーピング濃度、エピタキシャル層厚さのカスタマイズオプションを提供しています。

自給自足の完全な産業チェーンにより、国際的に最先端のCVDエピタキシャル装置と精密加工ラインを備えており、結晶成長、ウェーハダイシング、両面研磨からレーザースクライビングまで、XRD、AFM、Hall測定などの専門的な試験と認証を補完するフルレンジのサービスを提供しています。

月間生産能力5,000枚以上のウェーハにより、R&Dサンプルから量産オーダーまで、お客様のニーズに迅速に対応できます。

当社の専任技術サポートチームは、製品選択ガイダンス、アプリケーション開発、アフターサービスなどの付加価値サービスを提供し、高品質で一貫性の高い炭化ケイ素材料ソリューションをグローバルなお客様に提供することに尽力しています。 よくある質問 2インチSiCエピタキシャルウェーハ4Hについて 1. Q: 2インチ4H-SiCエピタキシャルウェーハの主な利点は何ですか？