|
商品の詳細:
お支払配送条件:
|
| 表面抵抗: | 10⁴～10⁹Ω | サイズ: | パーソナライズ可能 (4~12インチ) |
|---|---|---|---|
| 純度: | 990.9% | 密度: | D=8.91 (g/cm3) |
| 直径: | 25〜500ミリ | 適用する: | パッケージテスト、チップソーティング |
| メカニカル 強さ: | 曲げ強さ > 400 MPa | 耐性: | 0.1~60ohm.cm |
| 熱抵抗: | 1600の℃ | 耐薬品性: | 酸,塩基,プラズマに耐性がある |
| ハイライト: | 半導体処理の SiC エンドエフェクター,Wafer ハンドリング SiC エンド エフェクタ,腐食耐性のあるSiCエンドエフェクター |
||
当社のSiC エンドエフェクタは、半導体製造環境における超クリーンなウェーハハンドリング用に設計されています。高純度炭化ケイ素を使用して製造されたこれらのフォークは、優れた耐熱性高密度で微細な SiC 本体は、耐薬品性, および 機械的強度を提供し、エッチング、堆積、高温搬送システムなどの
過酷なプロセスチャンバーでの使用に最適です。高密度で微細な SiC 本体は、低パーティクル発生, 優れた寸法安定性, および
| ロボットとの互換性のためのカスタム形状とスロット | 製品仕様: |
|---|---|
| パラメータ | 仕様 |
| 材質 | 高純度 SiC (≧99%) |
| サイズ | カスタマイズ可能 (4～12 インチウェーハ用) |
| 表面仕上げ | 要件に応じて研磨またはマット |
| 耐熱性 | 最大 1600℃ |
| 耐薬品性 | 酸、塩基、プラズマに耐性 |
| 機械的強度 | 曲げ強度 > 400 MPa |
クラス 1～100 に適合
コンタクトパーソン: Mr. Wang
電話番号: +8615801942596
