ESD安全ウエハ保管用1インチシングルウエハカセット

1インチ シングル・ウェーファー・カセット ESD・セーフ・ウェーファー・ストレージ

1インチワッフルカセットは,半導体製造,光電子機器,マイクロ電子機器の研究開発高純度ポリマー (PEEKやPVDFなど) や反静的材料から製造され,汚染,静電損傷,クリーンルーム環境における物理的な影響SEMI規格に準拠するカセットは,MOCVD,PECVD,リトグラフィ,エッチングを含むプロセスにおける自動化ウェーファー転送システムに適しています.

1 インチ ウェーファー カセット主要 な 特徴

1超清潔な性能

超低粒子生成率 (<0.1μmで5粒子/ft3) を有するクラス100クリーンルーム用として認定された1インチ・ウェーファーカセット

• 表面 が 滑らか な の で,ワッフル が 引っかからない

2ESD 保護:

表面抵抗が106~109Ω/sq の炭素繊維強化または抗静的コーティング

• 1 インチ ワッファー カセット は,粒子 の 引き寄せ と 静電 放電 の 損傷 を 効果的に 防止 し ます

3機械的信頼性:

• 高温 (150°C まで) に 耐える,化学 剤 に 耐える (酸,塩基,有機溶媒 に 耐える)

• 1 インチ ワッファー カセット 安全 輸送 の ため に 振動 試験 に 合格 し た 設計

4自動化互換性:

• ロボット操作用の1インチ・ウェーファー・カセット標準化インターフェース (SMIF/FOUP対応)

• 主要な半導体機器 (ASML,応用材料など) と互換性

5精密なウェッファー保護:

• 1インチ・ウェーファー・カセット スロットピッチ精度 ±0.1mm ウェーファー位置誤差 ≤0.05mm

• オプションのRFIDタグスロット