半導体用 精密 サファイア 放電針 角型 尖端

テーパーチップサファイアクリスタルロッド付き精密サファイア放電ニードル

サファイア放電ニードルは、単結晶サファイア（Al₂O₃）から製造された精密放電部品です。そのコア特性は、サファイアの物理的および化学的特性に由来します。

1. 結晶構造

• 原子が密に配置された三方晶系で、超高硬度（モース9）と圧縮強度（2.1 GPa）を提供します。

2. 熱的特性

• 融点2050℃、熱伝導率23～26 W/(m・K)（c軸に平行）で、幅広い温度範囲（-40℃～300℃）での安定した動作を可能にします。

3. 電気的特性

• 誘電率9.4～11.58、絶縁耐力≧10 kV/mmで、高電圧放電（標準範囲：8～12.5 kVpp）をサポートします。

サファイア放電ニードルの主な特徴と利点

1. 精密機械加工能力

• チップ精度：ガイドモード成長技術により、チップ曲率半径≦5 μm、放電点直径≦10 μmを実現し、ナノスケールの静電気除去に理想的です。
• 表面処理：サファイア放電ニードルの超精密研削により、表面粗さRa≦5 Åを実現し、放電中のアーク拡散を最小限に抑えます。

2. 長寿命と信頼性

• 耐摩耗性：サファイアの硬度はタングステン鋼の3倍であり、サファイア放電ニードルは10⁶回の放電サイクルを可能にします（従来のタングステンニードルの場合は10⁴回）。
• 耐薬品性：サファイア放電ニードルは、埃の付着を防ぎ、清掃間隔を30日間に延長します（標準材料の場合は7日間）。

3. マルチシナリオ適応性

• 電圧範囲：サファイア放電ニードルは、パルスDC（DC）およびACモードをサポートし、±0.1 kVの電圧調整精度を実現します。
• 環境許容度：サファイア放電ニードルは、湿度10～95％（結露なし）および高度5000 mまでの環境で安定して動作します。

4. スマートインテグレーション

• リアルタイムモニタリング：統合された温度センサー（±0.5℃の精度）と電流フィードバックシステムにより、異常時の自動シャットダウンが可能になります。
• リモートコントロール：RS485インターフェースを介して、調整可能なパラメータ（周波数、電圧、デューティサイクル）を設定できます。