商品の詳細

家プロダクト

1インチワッフルカセット 16mm直径 25個容量

ブランド名:	ZMSH
モデル番号:	1 Inch Wafer Cassette
MOQ:	25
価格:	by case
配達時間:	2-4 weeks
支払条件:	T/T

詳細情報

製品の説明

詳細情報

起源の場所:

中国

証明:

rohs

サイズ:

1インチ

直径:

16mm

総合容量:

25 ワッフル

主体材料:

PEEK/PTFE/陽極酸化アルミニウム (指定)

Cleanroom compatibility:

Class 100 certified

アプリケーション:

半導体研究開発とプロトタイプ作成専門プロセス統合

パッケージの詳細:

100グレードのクリーンルームでの梱包

Supply Ability:

1000pcs per month

ハイライト:

1インチワッフルカセット 25個容量

16mm直径のワッフルカセット

保証付きのラボウエファーカセット

製品の説明

1インチウェーハカセットの詳細な紹介

1インチウェーハカセット 16mm径 25枚収納ウェーハ輸送用

1インチウェーハカセットは、小型半導体ウェーハ（1インチ）の安全な取り扱い、輸送、保管のために設計された特殊な容器です。その主な役割は、物理的な保護、環境からの隔離、自動化システムとの互換性を提供し、半導体製造ワークフロー全体でウェーハの完全性とプロセスの効率を確保することです。

1インチウェーハカセットの主要コンポーネントと設計

1. 構造設計

1インチウェーハカセットは、高強度金属（例：ステンレス鋼）または耐腐食性エンジニアリングプラスチック（例：PEEK、PTFE）で構成されています。
1インチウェーハに合わせて精密に設計されたスロットまたは固定溝を備え、機械的ストレスを最小限に抑え、輸送中のウェーハの滑りや摩耗を防ぎます。

2. 標準化された互換性

1インチウェーハカセットは、半導体業界の寸法規格（例：SEMI規格）に準拠しており、ロボットアーム、コンベアシステム、および装置フロントエンドモジュール（EFEM）などの自動化された機器とのシームレスな統合を可能にします。
AMHS（自動マテリアルハンドリングシステム）およびウェーハポッドインターフェースとの互換性に最適化されています。

3. 機能統合

高度なモデルには、ウェーハバッチ、プロセスステータス、および位置データのリアルタイム追跡のためのタグまたはセンサーが組み込まれています。

1インチウェーハカセットの主な特徴

1. 強化された物理的保護

静電気放電（ESD）対策：1インチウェーハカセットは、静電気による損傷からウェーハを保護するために、ESD安全な材料（例：導電性コーティング、フッ素ポリマー）を使用しています。
衝撃吸収：溝内のシリコンパッドまたはゴム引きインサートは、振動を減衰させ、衝撃を吸収します。これは、壊れやすい1インチウェーハにとって重要です。

2. 環境制御

密閉構造：1インチウェーハカセットは、埃、湿度、化学蒸気による汚染を防ぎます。特定のバリアントは、リソグラフィーやエッチングなどのデリケートなプロセス向けに、真空または不活性ガス環境（例：窒素パージ）をサポートしています。
耐熱性：1インチウェーハカセットは、幅広い温度範囲（-20℃から150℃）で確実に動作し、高温アニーリングまたは低温保管の要件に対応します。

3. 自動化対応機能

標準化されたインターフェース：上部に取り付けられた機械式グリッパースロットまたは位置合わせピンにより、ロボットアームおよびEFEMシステムとの正確なドッキングが可能になります。
位置決めロック：磁気または機械的ラッチにより、自動転送中にウェーハが確実に位置合わせされたままになり、位置ずれによる機器の故障を回避します。

4. コスト効率

1インチウェーハ用に最適化された軽量設計により、耐久性を維持しながら材料コストを削減し、R&Dおよび少量生産に最適です。

1インチウェーハカセットの主な用途

1. 半導体R&Dおよびプロトタイピング

1インチウェーハカセットは、MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）やセンサーなどの高度な技術について、研究室やパイロットラインでのプロセス検証を容易にします。
1インチウェーハカセットは、フォトリソグラフィー、イオン注入、ドライエッチングなどの重要なステップをサポートしています。

2. 特殊プロセス統合

ウェットクリーニングプロセス：1インチウェーハカセットは、SC1（標準クリーニング1）またはSC2（標準クリーニング2）処理中の化学腐食に耐えます。
高温プロセス：金属カセットバリアントは、アニーリングまたは拡散炉での熱応力に耐えます。

3. 自動生産ライン

カセットは、バッチ追跡と機器の同期を合理化し、生産スケジューリングを最適化します。

4. 教育と品質管理

1インチウェーハカセットは、ウェーハダイシング、パッケージング、および取り扱いプロトコルのデモンストレーションのために、学術的な環境で使用されています。
1インチウェーハカセットは、欠陥分析中の位置精度を確保するために、自動ウェーハ検査システムの精密キャリアとして機能します。

1インチウェーハカセットQ&A

1. Q：1インチウェーハカセットの主な設計上の利点は何ですか？

A：標準化された寸法（例：カセットあたり25枚のウェーハ）は、機器の互換性と自動化された処理効率を最適化し、ウェーハの損傷リスクを最小限に抑えます。

2. Q：半導体製造における1インチウェーハカセットの典型的なアプリケーションシナリオは何ですか？

A：半導体工場内でのウェーハ保管、機器間の転送、およびプロセスステップ全体での標準化されたマテリアルハンドリングに使用されます。

タグ：#1インチウェーハカセット, #ウェーハカセットホルダー, #16mm径, #25枚収納, #クラス100クリーンルーム対応, #ウェーハ輸送

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