ブランド名: | ZMSH |
モデル番号: | 6インチ 8インチ 4H-SEMI SiC |
MOQ: | 25pc |
価格: | by case |
配達時間: | 30日で |
支払条件: | T/T |
ARグラス用光学グレード6インチ8インチ4H-SEMI型SiC基板
ARグラス専用に設計された革新的な光学グレード4H-SiC基板。物理蒸着(PVT)法で成長させ、ナノスケール研磨と低応力スライス加工によって洗練されています。この製品は、AR光学における重要な課題に対処し、世界初の単層導波路フルカラーディスプレイソリューションを実現しています。
6インチ8インチ4H-SEMI SiC基板の革新的な特徴
アプリケーションバリュー:従来の3層ガラス導波路を単層SiCソリューションに置き換え、厚さを80%削減し、高解像度フルカラーレンダリング用のMicro LEDマイクロディスプレイとの互換性を実現します。
アプリケーションバリュー:-20~85℃の環境で確実に動作し、屋外ARアプリケーションに最適です。
アプリケーションバリュー:98%の導波路効率を実現し、光漏れを最小限に抑えます。4. 欠陥密度<0.04/cm²(8インチ)
5. 大規模8インチ生産能力技術的ブレークスルー:8インチウェーハはエッジロスを7%削減し、ウェーハあたり10~12個のARレンズを生成します。
1. ARレンズ導波路
利点:高熱伝導率(490 W/m・K)は、Micro LEDの放熱問題を解決し、>10,000 PPIの画素密度をサポートします。
4. スマートグラス熱管理
6インチ4H-SEMI SiC基板
結晶パラメータ
吸収率a≤0.5% @450-650nm | |
MP透過率a | (反射防止条件なし) |
≥66.5% | ヘイズa |
≤0.3% | 多形性a |
許可されていません マイクロチューブ密度 |
≤0.5/cm² |
六角ボイド密度 | 許可されていません |
六角形の不純物粒a | ノッチ基準エッジ |
MPインクルージョンa | 許可されていません |
機械的パラメータ | ノッチ基準エッジ |
6 | ノッチ基準エッジ |
(0001)±0.3° | ノッチ基準エッジ |
ノッチ | |
ノッチ方向 | ±2° |
ノッチ角度 | 90±5°/1° |
ノッチ深さ | 1 mm ±0.25 mm (-0 mm) |
表面処理 | <1-100>C-Si側(CMP) |
ウェーハエッジ | 面取り |
表面粗さ(AFM) | Ra≤0.2 nm |
(5×5 μmスキャンエリア) | 厚さa(Tropel) |
500.0 μm ±25.0 μm | LTV(Tropel) |
≤2 μm | TTV a(Tropel) ≤3 μm |
反りa(Tropel) | ≤5 μm |
ワープa(Tropel) | <15 μm |
推奨される他のタイプのSiC | 1. ダミー生産研究グレード炭化ケイ素高純度4h-semi未ドープ透明sicウェーハ |
2. HPSI高純度半絶縁性SiCウェーハ2"3"4"6"8"プライム/ダミー/研究グレード | 6インチ8インチ4H-SEMI SiC基板 |
FAQ | 1. Q:ARグラス用SiC基板の主な利点は何ですか? |