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商品の詳細

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SiCの基質
Created with Pixso. 4インチ 6インチ 8インチ SICOI ウェーファー 離散器に 4H-SiC 100から150mm sic フィルム ON シリコン

4インチ 6インチ 8インチ SICOI ウェーファー 離散器に 4H-SiC 100から150mm sic フィルム ON シリコン

ブランド名: ZMSH
モデル番号: SICOI Wafers
MOQ: 25
価格: by case
配達時間: 2-4weeks
支払条件: T/T
詳細情報
Place of Origin:
CHINA
証明:
rohs
サイズ:
4inch/6inch/8inch
表面粗さ:
ra <0.5nm
破壊靱性:
3.5 MPa・m¹/²
CTE(4H-SIC):
4.2×10⁻⁶/k
抵抗率(SI):
> 1×10⁶Ω・cm
アプリケーション:
高出力エレクトロニクス、RFデバイス
Packaging Details:
package in 100-grade cleaning room
ハイライト:

4H-SiC ワッフル 隔熱器

,

SICOI ワッフル 100-150mm

,

シリコン基板上のSiCフィルム

製品の説明

SICOI ワッフル概要




4インチ 6インチ 8インチ SICOI ウェーバー 離散器に 4H-SiC 100から150mm sic フィルム ON シリコン



SICOI (Silicon Carbide on Insulator) wafers represent a high-performance semiconductor substrate material that combines the exceptional physical properties of silicon carbide (SiC) with the electrical isolation advantages of an insulating layer (such as SiO₂ or Si₃N₄)SICOI構造は,通常,SiC単結層,隔熱層,およびサポート基板 (例えばSiまたはSiC) からなる.この配置は,高電力で広範なアプリケーションを見つけます高周波電子機器や高温電子機器,RF (ラジオ周波数) とMEMSセンサーの分野

4インチ 6インチ 8インチ SICOI ウェーファー 離散器に 4H-SiC 100から150mm sic フィルム ON シリコン



従来のSiCウエフと比較して,SICOIウエフは,隔熱層を組み込むことで寄生容量と漏れ電流を大幅に削減します.装置の動作頻度とエネルギー効率を向上させるこの技術は,特に電動自動車,5G通信,電気自動車などの高電圧抵抗,低損失,優れた熱性能を必要とするアプリケーションに適しています.航空宇宙の電子機器.

4インチ 6インチ 8インチ SICOI ウェーファー 離散器に 4H-SiC 100から150mm sic フィルム ON シリコン





SICOI ワッフル 主要な特徴



特徴カテゴリー

特定パラメータ/性能

技術 的 利点

材料構造


SiC単結層 (4H/6H-SiC) +隔熱層 (SiO2/Si3N4) +サポート基板 (Si/SiC)


電気隔離を可能にし 寄生虫の影響を軽減します


電気性能


高断裂場強度 (>3 MV/cm),低ダイレクトリック損失


高周波・高電圧装置に最適


熱性能


高熱伝導性 (4.9 W/cm·K),高温耐性 (>500°C)


高温環境に適した優れた散熱能力


メカニカル性能


高硬度 (モハス硬度 9.5) 低熱膨張係数


機械的ストレスに抵抗し,デバイスの信頼性を向上させる


表面の質


原子的に平らな表面 (Ra <0.2 nm)


エピタキスの成長質を最適化し,欠陥を最小限に抑える


断熱性能


高隔熱抵抗 (>1014 Ω·cm),低流出電流


高隔離を必要とするRFおよび電源装置に適しています


サイズとカスタマイズ


4/6/8インチ厚さのワッフルに対応 (SiC層:1-100μm,隔熱層0.1-10μm)


様々なアプリケーションの要求を満たす






SICOI ワッフル 主要用途



適用分野

具体 的 な シナリオ

主要 な 利点

高性能電子機器


電気自動車のインバーター,高速充電ステーション,工業用電源モジュール

高電圧抵抗と低損失はエネルギー効率を向上させる

RF装置


5Gベースステーションの電源増幅器 (PA),ミリ波RFフロントエンド

低寄生容量により,最小限の損失で高周波操作が可能

MEMSセンサー


高温圧力センサー,慣性ナビゲーション装置

高温や放射線に耐える 厳しい環境に適した

航空宇宙


航空機の電源システム,衛星通信機器

高い信頼性と極端な温度耐性

スマートグリッド


高電圧直流 (HVDC) トランスミッション,固体断路器

高度な保温特性により エネルギー損失を減らす

光電子機器


UVLED,レーザーダイオード基板

高格子マッチングは,デバイスのパフォーマンスを向上させる





4インチ 6インチ 8インチ SICOI ウェーファー 離散器に 4H-SiC 100から150mm sic フィルム ON シリコン

4H-SiCOIの調製プロセス



4H-SiCOIの製造プロセスと 突出特性を有するマイクロレゾネーター


  • 原始的な4H-SiCOI材料のプラットフォームの製造プロセス
  • b 粘着と薄化法を用いて製造された4インチワッフルスケールの4H-SiCOI基板の写真,故障領域がマークされています.
  • c 4H-SiCOI基板の総厚さの変化
  • d 4H-SiCOI サイズの画像.
  • SiCマイクロディスク共振器の製造の流れ図.
  • f 製造されたマイクロディスク共振器のスキャニング電子マイクログラフ (SEM).
  • g ゾームイン SEM画像 rezonator のサイドウォール 挿入,原子力マイクログラフ (AFM) のスキャン rezonator の上面 (スケールバー = 1 μm).
  • h パラボリック形状の上面を持つ製造された共振器の横から見られるSEM画像.




4インチ 6インチ 8インチ SICOI ウェーファー 離散器に 4H-SiC 100から150mm sic フィルム ON シリコン





シコイ・ワッフルQ&A



1Q: シコール・ウェーバーとは何か?
A: その通り SICOI (Silicon Carbide on Insulator) wafer is an advanced semiconductor substrate combining SiC's high-performance properties with an insulating layer for enhanced electrical isolation in power and RF devices.



2SICOIのウエフルの利点は?
A: SICOIウエファは標準SiCウエファと比較して,寄生容量が低く,分解電圧が高く,熱管理が良く,5GとEVアプリケーションに最適です.





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