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商品の詳細

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半導体装置
Created with Pixso. SiC/サファイア/超硬脆性材料用マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機

SiC/サファイア/超硬脆性材料用マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機

ブランド名: ZMSH
モデル番号: Multi-Wire Diamond Saw Cutting Machine
MOQ: 3
価格: by case
配達時間: 3-6 months
支払条件: T/T
詳細情報
Place of Origin:
CHINA
証明:
rohs
Lift speed:
225mm
Running speed:
1500m/min
Storage:
300L
Main drive motor:
17.8kw×2
Material Processing:
SiC/Sapphire/Ultra-Hard Brittle
Packaging Details:
package in 100-grade cleaning room
ハイライト:

SiC用ダイヤモンドソー切断機

,

ダイヤモンドワイヤー付きサファイア切断機

,

超硬脆性材料ソー切断機

製品の説明

マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機概要

 

 

SiC/サファイア/超硬脆性材料用マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機

 

 

 

マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機は、超硬脆性材料用に特別に設計された、高効率で精密なスライス装置です。複数のダイヤモンドワイヤーを使用して並行切断技術を採用し、複数のワークピースを同時に処理します。この機械は主に、炭化ケイ素(SiC)、窒化ガリウム(GaN)、サファイア、石英、セラミックスなどの材料の高速、高効率、高精度なマルチウェーハ切断に使用され、半導体、太陽光発電、LED業界での大量生産に最適です。

 

 

シングルワイヤー切断機と比較して、マルチワイヤーシステムは、1回の操作で数十から数百のスライスを可能にし、優れた切断精度(±0.02 mm)と表面品質(Ra <0.5 μm)を維持することにより、生産性を大幅に向上させます。そのモジュール設計は、自動ローディング、張力調整、インテリジェントモニタリングをサポートし、産業用連続生産の要件を満たしています。

 

 


 

マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機技術データ

 

 

項目

 

パラメータ

 

項目

 

パラメータ

 

最大ワークサイズ(角材)

 

220×200×350(mm)

 

主駆動モーター

 

17.8kw×2

 

最大ワークサイズ(円形材料)

 

Φ205×350(mm)

 

配線/無線モーター

 

11.86kw×2

 

スピンドル間隔(直径×長さ×数量)

 

Φ250 ± 10 × 370 × 2軸(mm)

 

ワークベンチ昇降モーター

 

2.42kw×1

 

主軸

 

650mm

 

ワークベンチスイングモーター

 

0.8kw×1

 

走行速度

 

1500m/min

 

配置モーター

 

0.45kw×2

 

ダイヤモンドワイヤー径

 

Φ0.12~Φ0.25(mm)

 

張力モーター

 

4.15kw×2

 

リフト速度

 

225mm

 

モルタルモーター

 

7.5kw×1

 

最大ワークベンチ速度

 

±12度

 

ストレージ

 

300L

 

スイング角度

 

±3度

 

流量

 

200L/min

 

スイング周波数

 

毎分約30回

 

温度制御精度

 

±2℃

 

ストレージ

 

0.01~9.99mm/min

 

電源電圧

 

3*35+2*10(mm²)

 

流量

 

0.01~300mm/min

 

圧縮空気供給

 

0.4-0.6MPa

 

サイズ

 

3550×2200×3000(mm)

 

重量

 

13500kg

 

 

 


 

ダイヤモンドワイヤーシングルライン切断機 動作原理

 

 

主な動作メカニズムは次のとおりです。

 

SiC/サファイア/超硬脆性材料用マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機 0

1.マルチワイヤー同期モーションシステム:

  • 数十から数百本のダイヤモンドワイヤーが、ガイドホイールによって駆動され、最大1500 m/minの速度で同期して走行し、ダイヤモンド粒子の摩耗によって材料を切断します。
  • 均一なワイヤー張力を確保し、破損やずれを防ぐために、クローズドループ張力制御(調整可能15〜130 N)を備えています。

 

2.精密送り&位置決めシステム:

  • ワークピースの送りは、高精度サーボモーターとリニアガイドによって制御され、±0.005 mmの位置決め精度を実現します。
  • オプションのビジョンアライメントまたはレーザー工具設定により、複雑な形状の切断精度が向上します。

 

3.冷却&デブリ管理:

  • 高圧クーラント(水または油ベース)が切断ゾーンを洗い流し、熱的影響を軽減し、デブリを除去し、エッジチッピングを最小限に抑えます。
  • クーラントの寿命を延ばすために、多段ろ過が装備されています。

 

4.インテリジェント制御システム:

  • B&Rサーボドライブ(応答時間 <1 ms)により、速度、張力、送り速度のリアルタイム動的調整が可能になります。
  • パラメータの保存/呼び出しと、材料固有のモードのワンクリック切り替えをサポートします。

 

 


 

マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機の主な特徴

 

SiC/サファイア/超硬脆性材料用マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機 1

1.高スループットマルチウェーハ切断:

  • 最大ワイヤー速度1500 m/min、1回の実行で50〜200スライス(材料依存)で、シングルワイヤーシステムよりも5〜10倍の生産性を向上させます。
  • SiC/GaNに最適化され、<100 μmのカーフ損失と40%高い材料利用率を実現します。

 

2.精密制御とインテリジェンス:

  • B&Rサーボシステムは、材料の硬度レベル全体で安定した切断のために±0.5 Nの張力精度を保証します。
  • 10インチHMIは、リアルタイムパラメータ(速度、張力、温度)を表示し、レシピの保存/リモートモニタリングを可能にします。

 

3.モジュール拡張性:

  • 無人生産のためのオプションのロボットローディング/アンローディングシステム。
  • 粗加工から仕上げ加工までの汎用性のために、ワイヤー径の切り替え(Φ0.12〜0.45 mm)をサポートします。

 

4.産業グレードの信頼性:

  • 高強度鋳造/鍛造フレームで、長時間の操作下での変形は<0.01 mmです。
  • セラミックコーティング/タングステンカーバイドガイドホイールとスピンドル(>8000時間の耐用年数)。

 

 


 

マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機の適用分野

 

SiC/サファイア/超硬脆性材料用マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機 2

1.半導体産業:

  • SiCウェーハダイシング:EVインバータおよび急速充電モジュール基板用。
  • GaNエピタキシャルウェーハ切断:5G RFデバイスおよびマイクロ波チップ。

 

2.太陽光発電:

  • 単結晶/多結晶シリコンインゴットスライス:1200 m/minの速度で、<±10 μmの厚さの変動。

 

3. LED&光学:

  • サファイア基板切断:LEDエピタキシャルウェーハとカメラカバーで、<20 μmのエッジチッピング。

 

4.高度セラミックス&R&D:

  • アルミナ/AlNセラミックスライス:航空宇宙熱コンポーネントの高精度加工。

 

 

 

SiC/サファイア/超硬脆性材料用マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機 3

 

 

 


 

ZMSHのサービス

 

 

ZMSHは、マルチワイヤーダイヤモンドソー切断システムのR&D、生産、技術サービスを専門とし、半導体業界のクライアント向けに、機器から材料加工までの統合ソリューションを提供しています。当社の高性能マルチワイヤーダイヤモンドソーは、SiCインゴット、サファイアロッド、石英ガラスなどの超硬脆性材料の高効率マルチウェーハ切断が可能なモジュール設計を特徴とし、インテリジェント張力制御システムとB&Rサーボドライブを通じて、最大切断速度1500m/minを達成しながら、±0.02mm以内の精度を維持します。当社は、多様な加工要件に合わせてカスタマイズされたサービスを提供しており、機器パラメータの最適化、切断プロセスの開発、特殊材料(例:大判SiC基板または不規則なサファイアコンポーネント)の契約加工などを含みます。さらに、当社の技術サポートチームは、パイロットから量産へのシームレスな移行を確実にするために、機器の設置/試運転、オペレーターのトレーニング、プロセス最適化、アフターサービスメンテナンスを含むフルサイクル支援を提供しています。半導体メーカーと研究機関の両方に対して、当社は材料特性(例:硬度、CTE)に適応した専門的な切断ソリューションを提供し、加工効率と歩留まりの両方を最適化します。

 

 

SiC/サファイア/超硬脆性材料用マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機 4

 

 


 

マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機Q&A

 

 

1. Q:炭化ケイ素用マルチワイヤーダイヤモンドソーの最大切断速度は?
    A:高度なマルチワイヤーダイヤモンドソーは、±0.02mmの精度でSiCウェーハの最大1500 m/minの切断速度を達成します。

 

 

2. Q:マルチワイヤーソーは、シングルワイヤーと比較して、同時に何枚のウェーハを切断できますか?
    A:マルチワイヤーソーは通常、1回の実行で50〜200枚のウェーハを切断し(材料依存)、シングルワイヤーシステムよりも5〜10倍高い生産性を提供します。

 

 


タグ:#マルチワイヤーダイヤモンドソー切断機, #カスタマイズ, #SiC/サファイア/超硬脆性材料 加工