クォーツ光学溶融シリカガラス JGS1,JGS2,JGS3

石英光学溶融シリカガラス JGS1、JGS2、JGS3​​

JGSシリーズ（JGS1、JGS2、JGS3）は、中国の主要な統合製造および取引の光学溶融シリカ材料であり、紫外線から赤外線までのスペクトル用途をカバーしています。これらの材料は、最適化されたスペクトル特性と熱機械的バランスを通じて、フルスペクトルカバレッジを実現します。選択には、透過窓、熱安定性、機械的強度を総合的に考慮する必要があり、コスト制約が重要な要素となります。たとえば、深紫外線リソグラフィーでは、反射防止コーティングを施したJGS1が優先され、量子通信システムでは、JGS3の赤外線透過率とレーザー耐損傷性のバランスを取る必要があります。半導体プロセスが3nm以下へと進むにつれて、JGS材料は超精密光学システムにおける中核的な地位をさらに強固なものにするでしょう。

石英光学ガラス JGS1、JGS2、JGS3比較分析表​​

石英光学ガラス JGS1、JGS2、JGS3仕様パラメータ

石英光学ガラス JGS1、JGS2、JGS3 ​​用途別

1. JGS1：深紫外線システムの実現​​

• ​​半導体リソグラフィー​​：193 nm ArFエキシマレーザーの光学系として機能し、<10 nmの解像度を7nmノードチップで実現します。
• ​​UVレーザー加工​​：低複屈折（λ/10）により、精密PCB穴あけ用のUV切断ヘッドでのビーム歪みを最小限に抑えます。
• ​​航空宇宙センシング​​：リモートセンシングにおける大気圏電離層分析のために、UV信号（185 nm）を捕捉します。

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2. JGS2：UVと可視光の性能のバランス​​

• ​​産業用レーザー​​：低複屈折（4-6 nm/cm）を介して、ファイバーレーザーで1064 nmレーザービームを安定化します。
• ​​UV硬化​​：高透過率（90% @220-400 nm）により、3DプリンティングでのUV接着剤硬化を加速します。
• ​​ウェーハ検査​​：欠陥検出のために、可視光（400-700 nm）でλ/20の均一性を確保します。

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3. JGS3：赤外線機能の拡張​​

• ​​熱画像​​：3-5 μmバンドでの>85%の透過率により、高感度FLIRシステムを実現します。
• ​​量子通信​​：低損失1550 nm光リンクのために、水吸収ピーク（OH<5 ppm）を除去します。
• ​​レーザー核融合​​：CO₂レーザー核融合炉で10 kJ/cm²パルスに耐えます。

Q1：​​JGS1、JGS2、JGS3溶融シリカの主な違いは何ですか？​​

​​A1:​​ JGS1​​：深紫外線（185 nm透過率>90%）に最適化され、半導体リソグラフィーで使用されます。

​​      JGS2​​：UV-visのバランス（220-2500 nm）で、中程度のOH含有量があり、レーザーおよび硬化システムに最適です。

​​      JGS3​​：高IR透過率（>85% @3.5 μm）と超低OH（5 ppm）で、量子通信と熱画像に不可欠です。

Q2：​​レーザー用途に最適なJGS材料はどれですか？​​

​​A2:​​ JGS2​​（220-2500 nm、150 ppm OH）は、低複屈折で1064 nmレーザーを処理します。

     ​​ JGS3​​（260-3500 nm、5 ppm OH）は、蛍光を最小限に抑えるため、高出力CO₂レーザー（10.6 μm）に推奨されます。

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