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| 密度: | 2.2g/cm3 | モース硬度: | 6-7 |
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| 圧縮強度: | 1100 | 誘電率（10GHz）: | 3.74 |
| 損失係数（10GHz）: | 0.0002 | ひずみ点: | 1080 |
| 熱伝導率（20℃）: | 1.4 | アプリケーション: | 半導体リソグラフィ、光ファイバー通信 |
JGS1 JGS2 ウエファー 光学グレード 溶融クォーツウエファー 2-12インチ
JGS1とJGS2は2種類とも高純度合成クォーツガラスで,主に二酸化シリコン (SiO2) で構成されている.製造プロセスと結果として得られる純度と光学特性にある..
•JGS1は,化学蒸気沉着 (CVD) 方法を用いて製造されます.金属不純度が非常に低い (通常は0以下に制御されます).1 ppm) と非常に低いヒドロキシル (OH) 含有量 (< 5 ppm)これは,深紫外線 (DUV) スペクトル (例えば,10mm 厚さの空白で185nm 波長で85%以上の伝達性) で例外的な伝達性を保証します. さらに,内部の泡や線が少ない極めて高い光学同質性を有します.
•JGS2は,通常,水素-酸素炎融合法を用いて生成される.比較的高い金属不純度 (約1 ppm) とより高いヒドロキシル含有量 (通常30〜50 ppm)これは,紫外線 (UV) から近赤外線 (NIR) のスペクトル (通常は220nm波長で> 80%伝播率) から良い性能をもたらします.しかし,2600~2800 nm の範囲で重要な吸収帯を示しています.内部構造には小さな泡,粒状の構造,または回転線が含まれる可能性があります.
JGS1は,究極のUV伝達性と超高性能 ("高純度") の追求を表しています.JGS2は,ほとんどのUVおよび可視光アプリケーションのニーズを満たしながら,より費用対効果の高い選択肢を提供します..
直感的な比較のために,JGS1とJGS2の基本特性は下記の表で要約されています.
| 特徴的な次元 | JGS1 (遠紫外光クォーツガラス) | JGS2 (紫外光クォーツガラス) |
| 光学伝達範囲 |
185 nm - 2500 nm
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220 nm - 2500 nm
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| 伝達力 @185nm/220nm |
>85% @185nm (10mm厚)
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> 80% @220nm (10mm厚)
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| 2600~2800nm 吸収 |
強い吸収帯の存在
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強い吸収帯の存在
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| 金属不純度 含有量 |
非常に低い (約0.1ppm)
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比較的低い (約1ppm)
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| 水酸化物 (OH) 含有量 |
非常に低い (<5ppm)
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高さ (30〜50ppm)
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| 内部欠陥 |
非常に高い光学均質性です
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小さい泡,粒状の構造,または回転線状を含む場合がある.
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| 屈折率熱系数 (dn/dT) | 比較的高い |
低温 (例えば, ~1.2×10−6/°C @1550nm),高温安定性
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| 表面の微小荒さ | 極低 (RMS は 0.2 nm に達する) λ/20 加工要件に適している | HF処理後の高表面ヒドロキシル密度で,コーティングのための理想的なインターフェースを提供します |
| 典型的な製造プロセス |
化学蒸気堆積 (CVD)
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水素と酸素の炎融合
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上記の表の主要な特徴に加えて,いくつかの優れた共通点も共有しています:
•高熱耐性:軟化点は1683°C程度で,継続的な動作温度1100°Cに耐える.
低熱膨張係数:約5.15×10−7/°C (100°Cで),良好な熱安定性を示しています.
•良好な化学安定性:様々な酸やアルカリに耐性がある
•比較的高い機械的強度:モース硬度は7です
JGS1とJGS2は独自の特性があるため,さまざまな高級分野で使用されています.
JGS1 アプリケーション (究極のUV性能を追求)
超高紫外線伝達性と極低不浄性により,JGS1は主に以下に使用されています.
JGS2 アプリケーション (パフォーマンスとコストのバランス)
JGS2のUVからNIRの領域での良好な性能により,幅広い用途が可能です.
| メカニカルプロパティ | |
| 密度/g/cm3 | 2.2 |
| モース硬さ | 6〜7 |
| 圧縮力 | 1100 |
| 張力強度 | 50 |
| 折りたたみの強さ | 65 |
| トルション強度 | 30 |
| ヤングのモジュール | 7.5 * 104 GPa |
| 魚の比率 | 0.17 |
| 電気特性 | |
| ダイレクトリック常数 (10GHz) | 3.74 |
| 損失因数 (10GHz) | 0.0002 |
| ダイレクト力 (10GHz) | 3.7 * 107 V·m |
| 耐性 (20°C) | 1 * 1020 Ω·m |
| 抵抗性 (1000°C) | 1 * 108 Ω·m |
| 熱特性 | |
| ストレンドポイント | 1080 |
| 焼却点 | 1180 |
| 柔らか点 | 1630 |
| 熱伝導性 ((20°C) | 1.4 |
| 特定熱 (20 °C) | 670 |
| (20~320°C) 拡張係数: 30°C~600°C |
5.5 * 10-7 |
1グラスVI (TGV) JGS1 JGS2 サファイア BF33 クォーツ 調整可能な寸法
2クォーツガラス 溶解シリカ 放射線遮断 窓 JGS1/JGS2/JGS3 透明 UV
1JGS1とJGS2の溶融シリカウエフとの違いは何ですか?
A: JGS1は,非常に低い金属不純物と水酸化物含有量により,優れた深紫外線 (DUV) 伝播を提供します.JGS2は,UVから近赤外線への適用で費用対効果の高い性能を提供していますが,OH含有量が高く,2600-2800nmで重要な吸収帯があります..
2Q: JGS1 と JGS2 のウエファーにはどのアプリケーションが最適ですか?
JGS1は半導体リトグラフィやエクシマーレーザーなどの深紫外線アプリケーションに最適です 一方JGS2は一般的UV光学,ファイバー通信,極度のDUV性能が重要でない場合.
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コンタクトパーソン: Mr. Wang
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