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| ブランド名: | ZMSH |
| モデル番号: | SICミラー |
| MOQ: | 25 |
| 価格: | by case |
| 配達時間: | 2〜4週間 |
| 支払条件: | T/T |
MEMS マイクロミラー用の二面磨きされた高純度SiCミラー光学部品
A Small-Size Double-Side Polished Silicon Carbide (SiC) Mirror is a high-performance optical component manufactured from ultra-high-purity silicon carbide (SiC) ceramic through precision machining and double-side polishing (DSP) technology基本的な特徴は,コンパクトな寸法 (通常直径 ≤50mmまたは側面長さ) と両側でのナノスケール表面仕上げ,特殊設計で,高度なサイズ要求の高い現代的な光電子システム向けに設計された超高硬さ,高硬さ,低熱膨張,高熱伝導性特殊な化学的安定性 反応シンタリングなどのプロセスで生産されます化学蒸気堆積 (CVD) や圧力なしのシンタリング. 双面超精密磨き (表面荒さRaは通常 ≤0.5nm) は,多くのコンパクトな精密光学装置のコアコンポーネントとして機能します..
1超軽量 小型化:
2. 優れた安定性と環境耐性:
3優れた熱管理:
4. 最高レベルの光学表面品質:
5優れた耐久性と化学的慣性
小型の双面ポリッシュ型SiC鏡は,独自の利点により,以下の高級分野で使用されています.わかった
AR/MRメガネ オプティカルシステム:
波導鏡,プリズム,または反射器として,光の経路を導いて表示する.薄い眼鏡のデザインを達成するための鍵です虹のパターンを排除する
リトグラフィーマシンの照明システムや ウェーファー検査機器のセンサーの反射器やレンズ基板としてナノスケール層の重なり合わせの精度と検査精度を維持するために,それらの高い熱安定性と平坦性が不可欠です..
レーザーガルバノメーター,レーザーインターフェロメーター,または高功率レーザーの反射器/窓鏡として使用されます.レーザービームの精密なステアリングと長期にわたる安定したシステム運用を保証します.
MEMSマイクロミラーやマイクロ光学装置の基板材料として LiDAR,プロジェクターなどで使用され,高周波応答の厳格な要件を満たす.高い安定性そして小型化です
| わかったパラメータカテゴリ | パラメーター名 | 典型的な値/範囲 |
| 材料の特徴 | 原材料 | 超高純度SiC |
| 密度 | ~3.0 〜3.2 g/cm3 | |
| エラスティックモジュール | >400 GPa | |
| 熱膨張係数 | ~4.5×10−6/°C | |
| 熱伝導性 | ~120 ¥ 200 W/m·K | |
| モース硬さ | 9.5 | |
| オプティカル&表面特性 | 表面荒さ (Ra,DSP) | ≤0.5 nm |
| 表面図の精度 (PV/RMS) | λ/10 @ 632.8nm 以上 | |
| 次元特性 | 一般的なサイズ範囲 | 直径または横の長さ 20~50mm |
| 機能的特徴 | 動作温度 | -50°Cから500°C (またはそれ以上,プロセスによって異なります) |
2シリコンセラミック真空チャック 折り畳みチップ 結合鏡 磨き 高硬さ
1SiC鏡は光学でどのように作用するのか?
A: SiC鏡は,シリコンカービッドの熱膨張係数 (~ 4.5×10−6/°C),高熱伝導性 (~ 120~200W/m·K) を活用して機能する.高硬さ (>400 GPa) で,極度の温度や機械的ストレスの下でナノスケールでの表面安定性を維持する宇宙望遠鏡やEUVリトグラフィー機器などの高精度光学システムでは最小限の歪みを保証します
2. Q: シリコンカービッド (SiC) の鏡は極端な環境でどのように機能しますか?
A: シリコンカービード (SiC) の鏡は,熱膨張率が非常に低く,熱安定性が非常に高いため,極端な環境で優れています.宇宙での用途自動車用 LiDAR システムでは,エンジン室の温度が 125°Cを超えると,SiC鏡は表面変形を最小限に保つさらに,高硬さ (モハ硬さ 9.5) と優れた化学的惰性により,振動,衝撃,酸や塩基による腐食に効果的な耐性があります.厳しい条件下で長期的安定を確保する.
タグ: #SiCミラー, #カスタマイズ, #ダブルサイドポーリング, #高純度, #光学部品, #耐腐蝕性, #高温評価, #MEMSマイクロミラー
