半導体加工のためのカスタムデザインのクォーツボート

製品概要:

この高純度コンテナは 溶融クォーツ (SiO2) で作られていますシリコン・ウェーフを安全に保持し輸送するために設計されているクォーツの特殊な熱安定性,化学的耐性,化学的耐性,化学的耐性など,低熱膨張は,クリーンルーム環境での高性能アプリケーションのための理想的な材料です.

標準型でも非標準型でも 標準型でも 標準型でも 標準型でも私たちのクォーツボートは耐久性と性能のために作られていますさらに,火災修理を含む 修理サービスを提供します クォーツ部品の寿命を延長します

クォーツ材料の仕様:

主要な特徴:

• 材料:高純度溶融クォーツ (SiO2)

• 純度: 99.99% 最低汚染率で

• 熱耐性: 変形や劣化なく,最高温1200°Cまで耐える

• 化学 耐性: ほとんどの化学物質に対して無活性で,高温プロセスでは汚染されない

• 低熱膨張: 急速な気温変動時の寸法安定を確保

• カスタマイズ: 標準またはカスタマイズされたサイズで入手可能 (例えば,4インチワッフル,またはカスタマイズされたサイズ)

• フック機能: 片端にフック付きで入手可能で,簡単にホイールを入れ,炉から取り出すことができます

応用:

1. 半導体製造: 拡散,酸化,化学蒸気堆積 (CVD) などの重要なプロセス中にシリコンウエフルを保持し輸送する.

2. 太陽電池の生産: 酸化やドーピングを含むシリコンウエファの加工のための太陽電池の製造に不可欠です.

3. 研究開発: 高度な純度で高温のアプリケーションが必要な学術および産業用ラボに最適です.

4. 化学加工: 高温と化学的安定性が求められる化学加工産業で使用するのに適しています.

デザインの変形:

• ローズドスロット: 異なる厚さのウエフに対応する異なるスロットサイズ,カスタムスロット構成が利用可能.

• ジオメトリ: U型,V型,またはあなたのプロセスニーズに合わせた他のカスタム形.

• フック設計: オーブン内でのウエフの挿入と取り除くためのフックで装備されています.

• サイズ: 100mm,150mm,200mm,および300mmのウエフルの標準サイズ.特殊なニーズのためにカスタムサイズが利用できます.

クォーツボートの利点

• 異常な熱安定性: 1000°Cを超える温度に耐えるため,拡散や焼却などの高温プロセスに最適です.

• 超高純度低不純度で汚染を最小限に保ち,先進的な半導体生産に特に重要です.

• 寸法 精度: クォーツの低熱膨張は,温度変動の間,ボートが形と位置を維持することを保証します.

• 汎用性: LPCVD,酸化,焼却を含む様々な半導体プロセスと互換性がある.

• 自動化準備: 精密に設計され,ロボット化ウエファー処理システムとシームレスに統合され,手動操作のリスクを最小限に抑える.

クォーツボート FAQ:

Q1: クォーツボートは再利用可能ですか?
そう です,クォーツボート は,適切に 清掃 し,維持 さ れ て いる 場合,性能 を 損なっ て は なく,何度 も 再利用 でき ます.

Q2: クォーツボートはどのように清掃されるべきですか?
クォーツボート は,クリーンルーム の 基準 に 従っ て,酸 浴 や 超音波 の 清掃 方法 を 用い て 清掃 し なけれ ば なり ませ ん.清掃 の 間 に 急激 な 温度 変化 を 避ける.

Q3: クォーツボート は,すべての型炉と互換性がありますか?
そうです 石英ボートは 半導体と太陽光発電の加工に使用される ほとんどの水平および垂直炉システムと互換性があります

Q4:カスタム注文にはどんなサイズが利用可能ですか?
クォーツボートは100mm,150mm,200mm,および300mmのウエファーのための標準サイズで利用可能であり,専門アプリケーションのために追加のカスタマイゼーションが可能です.

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