プレミアム12インチ（300mm）炭化ケイ素（SiC）基板ソリューション

1. 製品概要

12インチ（300mm）炭化ケイ素（SiC）基板は、ワイドバンドギャップ（WBG）半導体技術の最前線を表しています。 世界の産業がより高い効率とより高い電力密度へと移行するにつれて、この大口径結晶プラットフォームは、次世代のパワーエレクトロニクスとRFシステムの基盤となるものです。

主な戦略的利点:

• 大量スループット: 従来の150mm（6インチ）および200mm（8インチ）ウェーハと比較して、300mmフォーマットは、それぞれ2.2倍および1.5倍以上の使用可能な表面積を提供します。
• コスト最適化: 単一の製造サイクルで生成されるチップの数を最大化することにより、「チップあたりのコスト」を劇的に削減します。
• 高度な互換性: 最新の完全自動化された300mm半導体製造ライン（Fabs）と完全に互換性があり、全体的な運用効率を向上させます。

製品グレードの提供:

1. 4H SiC N型生産グレード: 高歩留まりの商用グレードのパワーデバイス製造向けに設計されています。
2. 4H SiC N型ダミーグレード: 機械的試験、装置校正、および熱プロセス検証のための費用対効果の高いソリューションです。
3. 4H SiC半絶縁（SI）生産グレード: 極端な抵抗を必要とするRF、レーダー、およびマイクロ波アプリケーション向けに特別に設計されています。

4H-N炭化ケイ素（導電型）

4H-Nポリタイプは、その堅牢な物理的特性で知られる窒素ドープの六方晶構造です。 約3.26 eVの広いバンドギャップにより、以下を提供します:

• 高い絶縁破壊電界: より薄く、より効率的な高電圧デバイスの設計を可能にします。
• 優れた熱伝導率: 高出力モジュールが簡素化された冷却システムで動作することを可能にします。
• 極端な熱安定性: 200℃を超える過酷な環境下でも安定した電気的パラメータを維持します。
• 低オン抵抗: SiC MOSFETやSBDなどの垂直電力構造向けに最適化されています。

4H-SI炭化ケイ素（半絶縁型）

当社のSI基板は、非常に高い抵抗率と最小限の結晶欠陥を特徴としています。 これらの基板は、GaN-on-SiC RFデバイスに最適なプラットフォームであり、以下を提供します:

• 優れた電気的絶縁: 寄生基板伝導を排除します。
• 信号の完全性: 低信号損失が重要な高周波マイクロ波アプリケーションに最適です。

当社の製造プロセスは、原材料から完成したウェーハまで、完全な品質管理を保証するために垂直統合されています。

• 昇華成長（PVT法）: 12インチの結晶は、物理蒸気輸送（PVT）法を使用して成長します。 高純度のSiC粉末は、精密に制御された真空と温度勾配の下で2000℃を超える温度で昇華し、高品質のシード結晶に再結晶化します。
• 精密スライスとエッジプロファイリング: 成長後、結晶インゴットは高度なマルチワイヤダイヤモンドソーイングを使用してウェーハにスライスされます。 エッジ処理には、チッピングを防ぎ、取り扱い中の機械的堅牢性を向上させるための精密面取りが含まれます。
• 表面エンジニアリング（CMP）: アプリケーションに応じて、Si面で化学機械研磨（CMP）を採用しています。 このプロセスは、原子レベルの平滑性を備えた「エピレディ」表面を実現し、高品質のエピタキシャル成長を容易にするためにすべての地下損傷を除去します。

お客様の生産ラインで一貫した性能を保証するために、多段階の検査プロトコルを使用しています:

1. 光学計測: TTV、反り、およびワープの自動表面形状測定。
2. 結晶評価: ポリタイプインクルージョンと応力分析のための偏光検査。
3. 表面欠陥スキャン: 傷、ピット、およびエッジチップを検出するための高強度光とレーザー散乱。
4. 電気的特性評価: 中央8インチゾーンと完全12インチゾーン全体の非接触抵抗率マッピング。

• 電気自動車（EV）: トラクションインバータ、800V急速充電パイル、および車載充電器（OBC）に不可欠です。
• 再生可能エネルギー: 高効率PVインバータ、風力発電コンバータ、およびエネルギー貯蔵システム（ESS）。
• スマートグリッド: 高電圧DC送電（HVDC）および産業用モータドライブ。
• 電気通信: 5G/6Gマクロ基地局、RF電力増幅器、および衛星リンク。
• 航空宇宙および防衛: 極端な航空宇宙環境向けの高信頼性電源。