BOROFLOAT 33 BF33 半導体MEMSおよび光学アプリケーションのためのボロシリケートガラスウェーファー

BF33 (BOROFLOAT 33) は,先進的なマイクロフロート技術を使用して製造された高性能ボロシリケートガラスウエファーである.半導体,MEMS,光学,優れた熱安定性があるため高い光学伝達力 強い化学抵抗力

熱膨張係数は約3.3 × 10−6 /Kで,BF33はシリコンと密接に一致し,ウェーファー結合,マイクロファブリケーション,精密光学システムのための理想的な基板となっています.

優れた平坦性,超低表面荒さ,および高い機械強度を提供し,要求の高いクリーンルームおよび精密エンジニアリング環境に適しています.

物質 の 特質

主要 な 特徴

• シリコン基板に匹配した低熱膨張係数
• 紫外線から近赤外線範囲への高光学伝播
• 酸,塩基,溶媒 に 対する 優れた 化学 耐性
• 高熱安定性 450°Cまで (長期使用)
• 500°Cまで耐久性
• 超滑らかな表面質 (Ra < 1 nm,DSP可用)
• 高機械強度と優れた摩擦耐性
• 生物医学用用途における低自明性
• 精密プロセスのための優れた平坦性と低いTTV

申請

半導体およびMEMSアプリケーション

• MEMSセンサーとマイクロデバイス
• ワッフルレベルの包装基板
• シリコンアノード結合プロセス
• マイクロ流体チップとラボ・オン・チップシステム
• ウェーファーキャリアと薄化プロセス

オプティカル・フォトン系

• レーザー窓と光学部品
• 顕微鏡スライドと画像システム
• オプティカルフィルターと精密基板
• 高安定性の光学組成物

バイオメディカル・アナリティカル・デバイス

• バイオチップと診断プラットフォーム
• PCRとラボ・オン・チップシステム
• 低自己発光検出システム
• 微流体分析装置

工業用および高温用

• オーブンの観測窓
• 化学反応器の目鏡
• センサー保護窓
• 環境監視システム

入手可能な仕様

利点

BF33のボロシリケートガラスウエファは,シリコンに匹敵する熱膨張,優れた光学性能,高い化学耐久性,およびMEMS対応の表面質を組み合わせています.

半導体加工,光学工学,マイクロスケールデバイス製造の橋渡し材料として広く使用されています.

よくある質問

BF33のボロシリケートガラスウエファーとは?

BF33は,低熱膨張,高光学透明度,強い化学耐性を備えたマイクロフロート技術で生産された高純度ボロシリケートガラスウエファーである.

なぜBF33はMEMSアプリケーションで使用されるのか?

その熱膨張は,シリコンと密接に一致し,結合時のストレスを軽減し,MEMSおよびウェーファーレベルのプロセスにおける安定性を改善します.

BF33のウエフルは磨けるの?

はい,BF33ウエファは,SSPおよびDSP形式で利用できます.ダブルサイドの磨きウエファは,1nm以下の表面粗さを達成できます.

BF33は光学用途に適していますか?

そうです 紫外線から赤外線に近い波長まで 高い伝達力を備えて 光学や光学システムに最適です

関連製品

JGS1 JGS2 ウエファー 光学グレード 溶融クォーツウエファー 2-12インチ