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| ブランド名: | ZMSH |
| MOQ: | 25 |
| 配達時間: | 2～4週間 |
| 支払条件: | T/T |
サファイアアプリケーターチューブは、半導体プラズマおよびプロセス装置で使用される特殊なコンポーネントであり、チューブはマイクロ波またはRFエネルギー、反応性プロセスガス、高温、およびプラズマ生成種にさらされる可能性があります。
リモートプラズマシステムでは、プロセスガスがアプリケーターチューブを通過する間に、マイクロ波エネルギーがアプリケーター領域に結合されて反応性プラズマ種が生成されます。サファイアは、熱安定性、電気絶縁性、耐薬品性、およびマイクロ波/RF伝送特性の組み合わせにより、この種のアプリケーションに特に適しています。
当社のサファイアアプリケーターチューブは、個別のチューブまたは精密金属ハウジング、ねじ込みコネクタ、シーリングインターフェイス、その他のカスタマイズされた機械部品を組み込んだ完全なアセンブリとして供給できます。
ここに示されている製品は、精密サファイアチューブと機械加工された金属取り付け構造を組み合わせており、半導体プロセス装置の交換部品またはカスタマイズ部品として使用することを目的としています。
アプリケーターチューブは、要求の厳しい半導体装置環境に適した合成サファイアから製造されています。
サファイアは、高い機械的強度を維持しながら、高温、プラズマ曝露、および化学的に攻撃的なプロセス条件に対して優れた耐性を提供します。
サファイアチューブは、プラズマアプリケーターチューブ、プラズマ封じ込めチューブ、プロセスガスインジェクターコンポーネント、および関連するプラズマ生成システムを含む、半導体処理アプリケーションで広く使用されています。
サファイアは優れた誘電特性とRF/マイクロ波伝送能力を提供するため、マイクロ波またはリモートプラズマ生成システム内に配置されるコンポーネントに適しています。
チューブの寸法は、以下を含む顧客の要件に従って制御できます。
サファイアチューブ製造に加えて、機械加工された金属部品を組み込んだ統合アセンブリを提供できます。
利用可能なサービスには以下が含まれる場合があります。
以下の要件に従って、カスタマイズされた半導体装置部品をサポートします。
これにより、製品は半導体装置のメンテナンス、交換、およびローカライズプロジェクトに適しています。
サファイアアプリケーターチューブは、以下のような装置およびプロセスで使用できます。
サファイアチューブは、半導体プラズマアプリケーター、プラズマ封じ込め、およびプロセスガスインジェクターアプリケーションで既に商業的に使用されています。
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 製品 | サファイアプラズマアプリケーターチューブ |
| 材料 | 合成サファイア / Al₂O₃ 単結晶 |
| 構造 | サファイアチューブまたはサファイア+金属アセンブリ |
| チューブOD | カスタマイズ |
| チューブID | カスタマイズ |
| 長さ | カスタマイズ |
| 壁厚 | カスタマイズ |
| 表面仕上げ | 研磨/精密研磨/必要に応じて研磨 |
| 端部構造 | ストレート/ステップ/溝付き/カスタム |
| 金属ハウジング | 利用可能 |
| ねじ構造 | 利用可能 |
| アプリケーション | 半導体プラズマ装置 |
| カスタム製造 | 利用可能 |
| 図面ベースの生産 | サポート済み |
| サンプルベースの生産 | サポート済み |
注：寸法とアセンブリ構造は、顧客の装置、図面、または既存のサンプルに従って製造されます。
アプリケーターチューブは、プラズマ生成システムのより要求の厳しい領域の1つに配置されています。
装置設計によっては、チューブは同時に反応性ガス、高エネルギープラズマ種、マイクロ波エネルギー、および高温に遭遇する可能性があります。
従来のガラス材料と比較して、サファイアは以下の組み合わせを提供します。
このため、サファイアはプラズマアプリケーターチューブおよびその他の半導体プロセス装置コンポーネントの重要なエンジニアリング材料となっています。
当社は、カスタムおよび交換アプリケーションに重点を置いて、半導体装置用のサファイアコンポーネントを製造しています。
標準チューブ寸法に顧客を限定するのではなく、実際のプロセス装置の要件に従って部品を製造できます。
カスタマイズオプションには以下が含まれます。
サファイアチューブは、対応する金属部品と組み合わせて、アセンブリ化された半導体装置部品としても供給できます。
製造中止、入手困難、またはカスタマイズされた半導体装置部品については、顧客は以下を送付できます。
当社のエンジニアリングチームは、見積もり前に構造と製造の実現可能性を評価できます。
既存の装置コンポーネントの代替として製造された部品については、最終的な互換性は、顧客の装置構成と技術仕様に基づいて常に確認する必要があります。
顧客の要件に応じて、検査には以下が含まれる場合があります。
プロジェクトの要件に応じて検査レポートを提供できます。
迅速な見積もりのために、以下を提供してください。
図面がない場合は、明確な写真と物理的なサンプルを送付して評価してください。
サファイアアプリケーターチューブは、半導体プラズマ装置、特にプラズマ生成、リモートプラズマクリーニング、およびプロセスガス活性化システムで一般的に使用されます。
はい。サファイアチューブに加えて、カスタマイズされた金属ハウジング、ねじ込みコンポーネント、および機械アセンブリは、図面またはサンプルに従って製造できます。
はい。半導体装置交換部品の図面ベースおよびサンプルベースの製造をサポートしています。顧客は、OEM参照番号、図面、サンプル、および装置情報を提供して評価できます。
はい。外径、内径、長さ、壁厚、チューブ端部形状、および表面仕上げはすべてカスタマイズ可能です。
プロトタイプ、メンテナンス、および小ロットの半導体装置プロジェクトは、必要な寸法と製造の難易度に応じて評価できます。
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