プロダクト細部
起源の場所: 陶磁器
ブランド名: zmkj
モデル番号: 高い純度un-doped 4h-semi
支払いと送料の条件
最小注文数量: 10PCS
価格: 30USD/pcs
パッケージの詳細: 、単一のウエファーの容器のカセットのクラス100のクリーン ルームの環境で包まれる
受渡し時間: 10-20days
支払条件: ウェスタン・ユニオン、T/T
供給の能力: 5000pcs/months
材料: |
シリコンカービッド結晶 |
サイズ: |
10x10mm |
適用する: |
オプティカル |
耐性: |
>1E7または0.015~0.28Ω.cm |
タイプ: |
4H-Nまたは4H-SEMI |
厚さ: |
0.5mm または 0.35mm |
表面: |
DSP |
オリエンテーション: |
C軸から0°オフまたは4°オフ |
材料: |
シリコンカービッド結晶 |
サイズ: |
10x10mm |
適用する: |
オプティカル |
耐性: |
>1E7または0.015~0.28Ω.cm |
タイプ: |
4H-Nまたは4H-SEMI |
厚さ: |
0.5mm または 0.35mm |
表面: |
DSP |
オリエンテーション: |
C軸から0°オフまたは4°オフ |
高純度 HPSI 4H-SEMI 4H-N 10X10mm 5x5mm シックウエファー DSP
ZMSHはSiCウェーバーとEpitaxyを提供しています: SiCウェーバーは,優れた性能を持つ第3世代の広帯域半導体材料です.高断裂電場,高固有温度,放射線耐性,良好な化学的安定性および高い電子飽和漂流率.光伏発電電力電子技術に革命的な変化をもたらします. Si面またはC面は,窒素ガスで包まれた,各ウエーファーが 1 つのウエーファー容器に入っています授業室はきれいです
エピ準備型SiCウエーファーにはN型または半絶縁性があり,そのポリタイプは4Hまたは6Hで,異なる品質グレードで,マイクロパイプ密度 (MPD): 無料, <5/cm2, <10/cm2, <30/cm2, <100/cm2,サイズも2個SiC エピタキシについては,そのホイファーからホイファー厚さの均一性:2%とホイファーからホイファードーピングの均一性4%,可用ドーピング濃度は,ドーピングされていないE15,E16,E18,E18/cm3から,n型とp型エピ層の両方が利用できます., epi 欠陥が 20/cm2未満である.すべての基板は,epi 成長のための生産グレードを使用すべきである.N 型 epi 層 < 20 マイクロンは,n 型,E18 cm-3,0.5 μmのバッファ層が先行する.N型エピ層≥20ミクロンにはn型が先行する, E18, 1-5 μmのバッファ層; N型ドーピングは,Hg探査機CVを使用して,ウエファー全体 (17点) の平均値として決定される.厚さはFTIRを用いてウエファー全体 (9点) の平均値として決定される..
2標準の基板のサイズ
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4インチ直径のシリコンカービッド (SiC) 基板仕様 |
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| グレード | MPDグレードはゼロ | 生産級 | 研究級 | ダミーグレード | |||||
| 直径 | 76.2mm±0.3mmまたは100±0.5mm | ||||||||
| 厚さ | 500±25um | ||||||||
| ウェファーの方向性 | 0°オフ (0001) 軸 | ||||||||
| マイクロパイプ密度 | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 | |||||
| 耐性 | 4H-N | 0.015~0.028 Ω•cm | |||||||
| 6H-N | 00.02~0.1 Ω•cm | ||||||||
| 4/6H-SI | ≥1E7 Ω·cm | ||||||||
| 主要 平坦で長さ | {10-10} ±5.0°32.5 mm±2.0 mm | ||||||||
| 二次平面長さ | 18.0mm±2.0mm | ||||||||
| 二次的な平面方向性 | シリコンが上向き: プライムフラットから90°CW ±5.0° | ||||||||
| エッジ除外 | 3mm | ||||||||
| TTV/Bow/Warp | ≤15μm /≤25μm /≤40μm | ||||||||
| 荒さ | ポーランドのRa≤1nm,CMPRa≤0.5nm | ||||||||
| 高強度の光による裂け目 | ない | 1 は許容され, ≤2 mm | 累積長 ≤ 10mm,単一の長 ≤ 2mm | ||||||
| 高強度光によるヘックスプレート | 累積面積 ≤1% | 累積面積 ≤1% | 累積面積 ≤3% | ||||||
| 高強度光による多型エリア | ない | 累積面積 ≤2% | 累積面積 ≤5% | ||||||
シック・ウェーファー&インゴット 2-6インチおよび他のカスタマイズされたサイズも提供できます.
3商品の詳細表示
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