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| 起源の場所 | 中国 |
| ブランド名 | SICC |
| 証明 | CE |
| モデル番号 | 4h-n |
2inch炭化ケイ素のウエファー6Hまたは4HのNタイプかSemi-Insulating SiCの基質
炭化ケイ素の利点
硬度
従来のシリコン基板上の炭化ケイ素の使用へ多数の利点がある。主要な利点の1つは硬度である。これは材料に高速、高温や高圧適用の多くの利点を、与える。
炭化ケイ素のウエファーに平均が1ポイントから別の井戸に熱を移すことができる高い熱伝導性がある。これは電気伝導率および最終的に小型化、SiCのウエファーへの転換の共通のゴールの1を改善する。
熱機能
熱衝撃に抗力が高い。これはそれらに壊れるか、または割れないでことを温度を急速に変える機能があることを意味する。これは従来のバルク ケイ素と比較して炭化ケイ素の寿命そして性能を改善するのはもう一つの靭性の特徴であるので装置を製造するとき明確な利点を作成する。
分類
炭化ケイ素SiCの基質は2つの部門に分けることができる:高い抵抗（resistorivity ≥107Ωの半絶縁された（高い純度非dopendおよびV添加された4H-SEMI）炭化ケイ素の基質·cm）、および低い抵抗の伝導性の炭化ケイ素の基質（抵抗の範囲は15-30mΩである·cm）。
6inch 4H-N sicのウエファーのための指定。
（2inch、3inch 4inchの8inch sicのウエファーはまた利用できる）
| 等級 |
ゼロMPDの生産 等級（Zの等級） |
標準生産の等級（Pの等級） |
模造の等級 （Dの等級） |
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| 99.5 mm~100.0 mm | ||||
| 4H-N | 350 μm±20 μm | 350 μm±25 μm | ||
| 4H-SI | 500 μm±20 μm | 500 μm±25 μm | ||
| ウエファーのオリエンテーション | ||||
| Micropipe密度 | 4H-N | ≤0.5cm-2 | ≤2 cm-2 | ≤15 cm-2 |
| 4H-SI | ≤1cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | |
| ※の抵抗 | 4H-N | 0.015~0.025 Ω·cm | 0.015~0.028 Ω·cm | |
| 4H-SI | ≥1E9 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | ||
| 第一次平らなオリエンテーション | {10-10} ±5.0° | |||
| 第一次平らな長さ | 32.5 mm±2.0 mm | |||
| 二次平らな長さ | 18.0 mm±2.0 mm | |||
| 二次平らなオリエンテーション | 上向きケイ素:90°CW.主で平らな±5.0°から | |||
| 端の排除 | 3つのmm | |||
| LTV/TTV/Bow /Warp | ≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | ||
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※の荒さ |
ポーランドRa≤1 nm | |||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | |||
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高輝度ライトで端のひび
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どれも | 累積長さの≤ 10のmm、単一length≤2 mm | ||
| 高輝度ライトによる六角形の版 | 累積区域≤0.05% | 累積区域≤0.1% | ||
| 高輝度ライトによるPolytype区域 |
どれも | 累積area≤3% | ||
| 視覚カーボン包含 | 累積区域≤0.05% | 累積区域≤3% | ||
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高輝度ライトによるケイ素の表面の傷 |
どれも | 累積『gth≤1×waferの直径をlen | ||
| 端は強度ライトによって高く欠ける | どれも≥0.2 mmの幅および深さを割り当てなかった | 5弾の割り当てられる、≤1 mmそれぞれ | ||
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高輝度によるケイ素の表面汚染 |
どれも | |||
| 複数のウエファー カセットか単一のウエファーの容器 | ||||
産業鎖
炭化ケイ素SiCの産業鎖は基質の物質的な準備、エピタキシアル層の成長、装置製造業および下流の適用に分けられる。炭化ケイ素のモノクリスタルは通常物理的な蒸気伝達（PVT方法）によって準備され、それからエピタキシアル シートは化学気相堆積（CVD方法）によって基質で発生し、関連した装置は最終的になされる。基質の製造技術の難しさによるSiC装置の産業鎖では産業鎖の価値は上流の基質リンクに主に集中される。
ZMSHの会社は提供する100mmおよび150mm SiCのウエファーを提供する。硬度（SiCは世界の第2最も堅い材料である）および熱および高圧流れの下の安定性によって、この材料は複数の企業で広く利用されている。
価格
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カスタム化
カスタマイズされたSiC水晶プロダクトは顧客の特定の条件および指定に合うために作ることができる。
Epiウエファーはまた要望に応じて顧客用である場合もある。
FAQ
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:（1）標準的なプロダクトのために
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カスタマイズされたプロダクトのため:配達は順序を置いた3週後2またはである。
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