プロダクト細部
起源の場所: 中国
ブランド名: zmsh
支払いと送料の条件
Material: |
SiC Ceramic |
Size: |
Customized |
Material: |
SiC Ceramic |
Size: |
Customized |
ワッフル処理用のSiCセラミックエンドエフェクター
シリコンカービッド (SiC) セラミックエンドエフェクター (CER) は,半導体製造,太陽光発電生産,先進電子組成のために設計された高性能のウェーファー処理ツールです.高度な硬さを含む SiC の特殊な性質を利用低熱膨張と優れた化学耐性 このエンドエフェクターは真空,高温,腐食性のある環境で超清潔で安定し精密なウェーファー転送を保証します
伝統的な材料 (例えばアルミやクォーツ) と比べると,SiCセラミックエンドエフェクターは以下を提示する.
- 粒子汚染ゼロ (EUVリトグラフィーにとって重要な)
- 高度な硬さ (Young's モジュール > 400 GPa) で,振動によるウエファの偏向を最小限に抑える.
- 酸,プラズマ,反応気体に対する腐食耐性 (CVD/PVD室など)
- 熱安定性 (動作範囲:−200°C~1,600°C) 極端なプロセスに最適
Wafer ハンドリング用の SiC セラミックエンドエフェクタルの特徴
1超高い硬さと耐磨性
- ビッカーの硬さ 2800 HV,ダイヤモンド (3000 HV) に近寄って,クォーツ (820 HV) とアルミニウム (1500 HV) を大幅に上回る長期使用が可能で,ウエフルの表面を掻くような磨き粉を発生させない..
- 細粒構造 (4~10μm) は平らな表面 (Ra <0.2μm) を確保し,EUVリトグラフィーの超清潔なプロセス要件を満たします.
2特殊な機械的強度
- 450 MPa の折りたたみ強度と3900 MPa の圧縮強度により,曲げない変形なく300mmのウェーファー (重さ ~128g) を支えることができ,ウェーファの不整列や破損を防ぐことができます.
3優れた熱安定性
- 酸化大気では1600°C,惰性ガスでは1950°Cまで耐える,金属端効果体の限界をはるかに超えている (通常は500°C以下).
4化学的惰性
- すべての酸 (HF/HNO3混合物を除く) とアルカリに耐性があり,湿浄化ステーションやCVD室 (SiH4,NH3) などの腐食性の高いプロセス環境に最適です.
5汚染のないパフォーマンス
- 粒子生成 <0.1/cm2 (SEMI F57規格ごとに),アルミ端効果機より100倍低い.
- 3.14 g/cm3 (アルミニウムでは2.7 g/cm3) の密度で,硬さを損なうことなく高速なロボット操作が可能である.
6パーソナライゼーション能力
- 幾何学: 150mm-450mmのウエフルのための平ら,ノッチを並べた,またはエッジを握るデザイン.
- コーティング:特殊用途のための反光 (AR) または水害性層がオプションです.
仕様
| シリコンカービッド含有量 | - | % | >995 |
| 穀物 の 平均 サイズ | - | マイクロン | 4から10 |
| 散布密度 | - | kg/dm^3 | >3.14 |
| 表面的な毛孔性 | - | 総量 % | <0.5 |
| ヴィッカース硬さ | HV0 について5 | kg/mm^2 | 2800 |
| 破裂モジュール (3ポイント) | 20°C | MPa | 450 |
| 圧縮強度 | 20°C | MPa | 3900 |
| 弾力度モジュール | 20°C | GPa | 420 |
| 骨折強度 | - | MPa/m^1/2 | 3.5 |
| 熱伝導性 | 20°C | W (((m*K) | 160 |
| 電気抵抗性 | 20°C | オーム.cm | 10^6から10^8 |
| 熱膨張係数 | a は (RT"800°C) |
K^-1*10^-6 | 4.3 |
| マックス 適用温度 | オキシド大気 | °C | 1600 |
| マックス 適用温度 | 惰性 大気 | °C | 1950 |
SiC セラミック エンド エフェクタルの応用
1半導体製造
✔ EUV リトグラフィ
- 微粒子のないワッフル処理 SiCの平らな表面 (Ra <0.02μm) は,極紫外線 (EUV) 石版画における欠陥を防止します.
- 真空環境に適合します 流出ガスがなく,高級チップ製造でクリーンな転送を保証します
✔ 高温 の プロセス
- 発散炉と火焼 変形なしに1600°C (酸化) と1950°C (惰性) に耐える.
- イオン植入 放射線耐性,イオン爆撃下で構造的整合性を維持する
✔ 湿気 と 乾燥 の 彫刻
- 酸 (HF,HNO3) やプラズマに耐える
- 金属汚染なし フィンフェットと3DNANDの生産に不可欠
2パワーエレクトロニクス (SiC/GaN・ウェーファー処理)
✔ SiC エピタキシ
- 熱膨張マッチング (CTE=4.3×10−6/K) は,1,500°C+のMOCVD原子炉でウエファー曲線を防止する.
- プロセスガス (SiH4,NH3,HCl) に反応しない.
✔ GaN-on-SiC 装置
- 高硬さ (420 GPa) は,振動によって引き起こされる偏向を最小限に抑える.
- RFおよび電源装置の操作のための電気隔熱 (106~108Ωcm)
3光伏とLEDの生産
✔ 薄膜 の 太陽電池
- CdTeとCIGS堆積環境で耐腐食性
- 低熱膨張は,急速な熱処理 (RTP) の安定性を保証します.
✔ ミニ/マイクロLED 転送
- 脆弱なウエーファーを軽く扱う 厚さ <50μmのエピウエーファーにマイクロクラックを防止する
- クリーンルーム対応 (SEMI F57対応)
4MEMSと高度パッケージング
✔ 3D IC 統合
- < 1μm の準拠精度でチペットの正確な配置.
- 磁性でない 磁気感受性MEMSデバイスには安全です
✔ ワッフル レベル の 梱包
- 流量や溶接蒸気に耐える
5産業・研究・応用
- 300mmの工場でアルミニウムを代替する
- 軽量 (3.21 g/cm3) ** 硬さにより高速な移動が可能
### **✔ 量子コンピューティング研究**
- 超伝導クビット処理のための冷凍互換性 (~200°C)
- **非伝導型**は,敏感な電子機器への干渉を防ぎます.
よくある質問
Q1:アルミニウムやクォーツの端効果機よりも SiCをなぜ選ぶのか?
- アルミニウム:残酷な環境で粒子を生成し 酸化します- クォーツ: SiC に比べて脆くて熱不安定です
Q2: SiC端効果者は 450mmのウエフルを処理できますか?
オーダーメイドデザインで
Q3 についてパーソナライゼーションオプション?
- 図形:平面,ノッチを並べた,または縁を握るデザイン.
- コート:反射 (AR) や水害性層.
Tags:
ビデオ
