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商品の詳細:
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| Laser Type: | Excimer (193nm/248nm), Femtosecond (343nm/1030nm) | Processing Area: | Max 150mm × 150mm |
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| Processing Speed: | 50–300mm/s | Lift-Off Thickness: | 10nm–20μm |
| System Integration: | EFU clean unit, exhaust gas treatment system | Application: | Semiconductor Manufacturing,Flexible Electronics |
| ハイライト: | SiC基板レーザー分離機,カスタマイズされたSiC基板レーザー分離機 |
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6インチ~12インチ SiC基板レーザー分離システム 機械 オーダーメイド
レーザーリフトオフ (LLO) システムは,高エネルギーパルスレーザーを利用してインターフェースで選択的な材料分離を実現する高度な精密加工技術です.この技術は半導体製造に広く使用されています柔軟な電子機器,光電子機器,エネルギー分野.その主な利点は,非接触処理,高解像度制御,マルチ材料互換性,MicroLEDの質量移転などのアプリケーションでは不可欠です柔軟なディスプレイ製造と半導体ウェーファーレベルのパッケージング
会社サービス ハイライト:
カスタマイズされたソリューション: レーザー波長 (193nm~1064nm),電源 (1W~100W),および研究開発と大量生産をサポートする自動化統合に合わせた.
プロセス開発:レーザーパラメータ最適化,ビーム形状設計,検証サービス (例えば,サファイア基板のためのUVレーザーLLO).
スマートメンテナンス: 統合されたリモートモニタリングと故障診断, <2時間の応答時間で24/7の運用サポートを保証します.
| パラメーター | 典型的な価値観 | ノート |
| レーザータイプ | エクシマー (193nm/248nm),フェムトセカンド (343nm/1030nm) | パルス幅520ns,ピーク電源>10kW |
| 処理エリア | 最大 150mm × 150mm | 多局並行処理 |
| 処理速度 | 50~300mm/s | 材料とレーザー電源ごとに調整可能 |
| 引き上げ厚さ | 10nm~20μm | 層次デラミネーション能力 |
| システム統合 | EFU クリーンユニット,排気ガス処理システム | ISO 14644 清潔性の準拠 |
LLOは,材料のインターフェースで選択的な除去によって動作します.
レーザー bestradiation: 高エネルギーパルス (例えば,エクシマーまたはフェムト秒レーザー) は標的インターフェース (例えば,サファイア-GaN) に焦点を当て,光熱/光化学反応を誘発する.
インターフェイス分解:レーザーエネルギーはガス化 (例えば,GaN → Ga + N2) を誘発し,制御されたデラミナーションのためにプラズマと熱圧を生成する.
材料収集: 脱層された微細構造は真空吸入または流体動力学によって捕獲され,汚染のない移転が保証されます.
キーテクノロジー
| わかった特徴 | テクニカル仕様 | 申し込み |
| 接触のない処理 | 繊細な材料に対する機械的ストレスを避けるため,光学を通じてレーザーエネルギーを送る | 柔軟なOLED,MEMS |
| 高精度 | 定位精度 ±0.02mm,エネルギー密度の制御 ±1% | マイクロLEDの転送,サブミミパターニング |
| 多材料互換性 | UV (CO2),可視 (緑色),IRレーザーに対応し,金属,セラミック,ポリマーに対応 | 半導体,医療機器,再生可能エネルギー |
| 知的制御 | 統合された機械ビジョン,AI駆動のパラメータ最適化,自動積載/積荷 | 30%以上の生産効率の向上 |
半導体製造
わかった
2柔軟な電子機器
わかった
3. 医療機器
わかった
4再生可能エネルギー
わかった
1レーザー発射システムとは?
A: レーザーリフトオフシステムは,高エネルギーパルスレーザーを用いてインターフェースで材料を選択的に分離する精密加工ツールです.マイクロLED質量移転や柔軟な電子機器製造などのアプリケーションを可能にします.
2.Q:LLOシステムを使用する産業は?
A: LLO システムは半導体製造 (ウエファーレベルのパッケージング),柔軟な電子機器 (折りたたむディスプレイ),医療機器 (センサー製造),そして再生可能エネルギー (太陽電池)接触のない高解像度処理を 提供しています
タグ: #6-12インチ, #1064nm, #SiC基板レーザー分離システムマシン, #カスタマイズされたワファー
コンタクトパーソン: Mr. Wang
電話番号: +8615801942596
