正方形サファイア基板(SSP)は、高純度(>99.99%)の単結晶Al₂O₃で作られており、優れた機械的強度、熱安定性、および光学的透明性を提供します。C面(0001)配向と片面研磨(SSP)表面を備え、エピタキシャル成長、GaNベースLED製造、光学部品、高温または真空用途に最適です。
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | 高純度 >99.99%、単結晶Al₂O₃ |
| 寸法 | 10 × 10 mm |
| 厚さ | 1 mm(その他の厚さもご要望に応じて対応可能) |
| 配向 | C面(0001)からM(1-100)0.2° ± 0.1°オフ |
| 格子定数 | a = 4.785 Å、c = 12.991 Å |
| 密度 | 3.98 g/cm³ |
| 熱膨張係数 | 6.66×10⁻⁶ /℃(∥C軸)、5×10⁻⁶ /℃(⊥C軸) |
| 絶縁破壊強度 | 4.8×10⁵ V/cm |
| 誘電率 | 11.5(∥C軸)、9.3(⊥C軸)@ 1 MHz |
| 誘電正接 | < 1×10⁻⁴ |
| 熱伝導率 | 20℃で40 W/(m・K) |
| 研磨 | 片面研磨(SSP)、Ra< 0.3 nm(AFM);裏面微研磨 Ra = 0.8~1.2 μm |
卓越した化学的および熱的安定性
高い光学的透明性と表面平坦性
低い誘電損失と高い熱伝導率
優れた機械的硬度と耐スクラッチ性
カスタムサイズ、配向、および厚さで利用可能
GaNおよびAlNエピタキシャル成長
LEDおよびレーザーダイオード製造
光学および赤外線窓
高出力RFおよびマイクロ波デバイス
研究および半導体試験