LED、光学、半導体用途向け単結晶サファイア基板 (2", 3", 4", および 6")
ZMSH は、2 インチ、3 インチ、4 インチ、および 6 インチの直径で利用可能な高品質の単結晶サファイア基板を提供しています。これらは、高度な結晶成長および研磨技術を使用して、99.99% 純粋な Al₂O₃ (酸化アルミニウム) から製造されています。
これらのサファイアウェーハは、優れた硬度、化学的安定性、熱伝導率、および光学的透明性を特徴としており、LED、GaN エピタキシー、光学窓、半導体薄膜、およびマイクロ電子デバイスに最適な材料となっています。
ZMSH サファイア基板は、片面研磨 (SSP) および両面研磨 (DSP) の両方の形式で利用でき、表面粗さは Ra ≤ 0.3 nm、全厚変動 (TTV) は 3 μm 未満です。各ウェーハは、お客様の要件に応じて、A 面、C 面、M 面、または R 面の配向に正確にカットされており、高歩留まりのエピタキシャル成長と優れたデバイス性能を実現するための最適な格子整合を保証します。
高純度材料:>99.99% 単結晶 Al₂O₃ で、欠陥と不純物が少ない。
優れた表面品質: スクラッチ/ディグ 20/10、Ra ≤ 0.3 nm、エピタキシャル堆積に最適。
寸法精度: 直径と厚さの許容誤差が厳しく、カスタマイズ可能なサイズ。
熱的および化学的安定性: 最大 2000°C に耐え、酸やアルカリに対する耐性が高い。
光学的透明性: UV から IR (190 nm–5 μm) までの広い透過範囲。
カスタムオプション: 2 インチ、3 インチ、4 インチ、6 インチのサイズ、およびカスタムの厚さまたは配向で利用可能。
LED & 光エレクトロニクス: 高輝度 LED および LD 用の GaN、AlN、および InGaN エピタキシャル成長。
半導体: 薄膜デバイス、IC、および MEMS コンポーネント。
光学システム: 耐久性と透明性が必要な窓、レンズ、およびレーザーコンポーネント。
航空宇宙 & 防衛: 赤外線センサーおよび高温光学窓。
研究開発: 光学コーティング、エピタキシー試験、および高度な材料研究。
| 特性 | 2 インチ | 3 インチ | 4 インチ | 6 インチ |
|---|---|---|---|---|
| 直径 | 50.8 ± 0.1 mm | 76.2 ± 0.1 mm | 100 ± 0.1 mm | 150 ± 0.1 mm |
| 厚さ | 430 ± 25 μm またはカスタマイズ | 430 ± 25 μm またはカスタマイズ | 650 ± 25 μm またはカスタマイズ | 1300 ± 25 μm またはカスタマイズ |
| 粗さ (Ra) | ≤ 0.3 nm | ≤ 0.3 nm | ≤ 0.3 nm | ≤ 0.3 nm |
| ワープ | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm |
| TTV | ≤ 3 μm | ≤ 3 μm | ≤ 3 μm | ≤ 3 μm |
| スクラッチ/ディグ | 20/10 | 20/10 | 20/10 | 20/10 |
| 研磨 | DSP / SSP | DSP / SSP | DSP / SSP | DSP / SSP |
| 形状 | 丸型、フラット | 丸型、フラット | 丸型、フラット | 丸型、フラット |
| エッジ形状 | 45°、C 字型 | 45°、C 字型 | 45°、C 字型 | 45°、C 字型 |
| 材料 | サファイア結晶 | サファイア結晶 | サファイア結晶 | サファイア結晶 |
1. サファイア基板とは何ですか?
サファイア基板は、酸化アルミニウム (Al₂O₃) から作られた単結晶ウェーハで、LED、レーザーダイオード、および半導体デバイスのエピタキシャル成長のベース材料として使用されます。
2. どのような結晶配向が利用できますか?
ZMSH は、GaN や AlN などの特定の材料に必要な格子整合に応じて、C 面 (0001)、A 面 (11-20)、R 面 (1-102)、および M 面 (10-10) の配向を提供しています。
3. どのような研磨オプションを提供していますか?
片面研磨 (SSP) および両面研磨 (DSP) 基板を提供しています。各表面は、超平滑で欠陥のない表面を確保するために、精密ラッピングと化学機械研磨を受けています。
4. カスタムサイズまたは厚さを要求できますか?
はい。ZMSH は、お客様の技術図面またはアプリケーション要件に応じて、直径、厚さ、配向、およびエッジ形状の完全なカスタマイズをサポートしています。