|
|
| ブランド名: | ZMSH |
高温,紫外線,精密電子用産業用6H SiC基板
製品概要
6Hシリコンカービッド (SiC) 基板は,高温,高電圧,および特殊光電子アプリケーションのために設計された高品質の単結晶片である. 4H SiCとは異なり,6Hは異なる六角型ポリタイプで,電子移動性がわずかに低いが熱安定性が優れたUVLED,高温センサー,産業用電子機器などのニッチ用途のための機械的強度,コスト効率.
主要 な 特徴
六角形6H結晶構造ワッフル加工中に寸法安定性と機械的な強さを保証する.
電気特性:高温・高電圧装置に適した中程度の電子移動性. 装置の足跡が小さいことをサポートする.
熱伝導性 (~390~450 W/m·K):電力モジュールや厳しい環境における効率的な熱散
機械的強度と化学的耐性高硬さと耐腐蝕性により長期的に信頼性があります
エピレディの表面オプション:水素溶融やCMP磨きを含む 表面生長に適しています
カスタマイズできるサイズと厚さ:標準直径または特定の生産ニーズに合わせて提供されます.
申請
高温半導体装置とセンサー
紫外線LEDと特殊光電子機器
極端な条件にさらされた航空宇宙および自動車電子機器
コンパクトで頑丈な部品を必要とする産業用電子機器
広帯域半導体の研究開発
技術仕様 (典型的な仕様とカスタマイズ可能)
| パラメータ | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | 単晶6H SiC |
| 結晶構造 | 六角形 (6H) |
| 直径 / サイズ | 25mm (2′′),50mm (4′′),100mm (4′′),150mm (6′′),200mm (8′′),300mm (12′′) 方形またはカスタムサイズ |
| 厚さ | 350×1,000 μm (カスタマイズ可能) |
| 表面塗装 | エピ準備型 CMP,双面磨き (DSP),単面磨き (SSP) |
| 総厚さ変化 (TTV) | 典型的な ≤5 μm |
| 弓 / ワープ | ≤40 μm (典型的には6インチ) |
| マイクロパイプ密度 | <0.1cm−2産業用対象;プレミアムグレード <0.01cm−2 |
| 変位密度 | <104cm−2 (高電圧出力の目標) |
| 導電性 | N型 (伝導性) 半隔熱 (SI) オプション |
| エピ準備 | はい 皮軸成長と相容れている |
平方基板のメリット
高温センサーとUVLED:方形基板は電極とパッケージベースを正確にアライナメントします.
産業用電子機器:高統合のコンパクトなデザインを可能にし,パッケージ・基板のギャップを減らす.
RF&マイクロ波回路 (SIオプション):高周波アプリケーションでは信号損失を減らす.
製造プロセス
粉末合成:高純度SiC原料
種子の設置: 6H の種子が成長剤に固定されています.
高温成長:2300~2500°Cの高温でシシボールを形成する.
切る: ダイヤのワイヤセールで切る.
ポリッシュ&インスペクション:CMPまたはエピ準備された表面のためのダイヤモンドのポリッシュ;測定と分析証明書 (CoA) が提供されています.
主要な応用と使用事例
高温電子機器と産業用センサー
UV光電子機器
極端な条件下での航空宇宙および防衛電子機器
ニッチ市場向け高信頼性のコンパクト電力装置
広帯域半導体装置の研究開発と試作生産
よくある質問
16H SiC基質と4H基質の違いは何ですか?
6H SiCは異なる六角型ポリタイプ,電子移動性が低く,高温および専門用途のコスト効率の良い利点がありますが,4Hは高速に使用する標準です.高効率の電源装置.
26H SiCは高温に耐えるのか?
極端な熱環境でも 機械的および電気的安定性を保ちます
36H SiC基質は 調整可能ですか?
そう,直径,厚さ,表面の仕上げ,伝導性は,研究開発や生産ニーズに合わせることができます.
46H SiC 基質を使用する産業は?
高温センサーやUVLED 航空宇宙 自動車 産業用電子機器は 極端な条件下で 強力な性能が必要です
ビデオ
ビデオ
