レーザーマイクロジェット装置 高エネルギーパルス

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April 02, 2025
カテゴリー接続: 石英ガラスの版
マイクロジェットレーザー機器は,高エネルギーレーザーとマイクロスケール液体ジェットを組み合わせた,高精度加工システムの一種で,主に半導体,光電子と医療基本原理は,微米未満の加工精度 (最大0.5μm) と熱影響のゼロに近い領域 (HAZ<1μm) に,パルスレーザー光 (紫外線や緑光など) を高速流体ジェット (通常は離子化水または惰性液体) に結合する液体の誘導,冷却,残骸除去機能を利用する.