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シック抵抗 成長 結晶炉 高温の加熱インゴット 6インチ 8インチ 12インチ

プロダクト細部

Place of Origin: CHINA

ブランド名: ZMSH

証明: rohs

Model Number: Silicon carbide resistance long crystal furnace

支払いと送料の条件

Minimum Order Quantity: 1

価格: by case

Delivery Time: 5-10months

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ハイライト:
目的::
6 8 12インチ SiC シングルクリスタル成長炉
Dimensions (L × W × H)::
2500 × 2400 × 3456 mm or customize
Pressure Range::
1–700 Mbar
温度範囲::
温度は900〜3000°Cです
Maximum Furnace Temperature::
2500°C
回転軸直径::
50mm
目的::
6 8 12インチ SiC シングルクリスタル成長炉
Dimensions (L × W × H)::
2500 × 2400 × 3456 mm or customize
Pressure Range::
1–700 Mbar
温度範囲::
温度は900〜3000°Cです
Maximum Furnace Temperature::
2500°C
回転軸直径::
50mm
シック抵抗 成長 結晶炉 高温の加熱インゴット 6インチ 8インチ 12インチ

 

ZMSH Sic 耐久性長い結晶炉の要約
 

 

シック抵抗 成長 結晶炉 高温の加熱インゴット 6インチ 8インチ 12インチ


 

シリコンカービッド抵抗結晶炉は,特にシリコンカービッド (SiC) の結晶を栽培するために使用される機器の一種である.シリコンカービッドは高熱伝導性などの優れた特性があります高分解電場と高電子飽和漂流速度で,電源電子,無線周波数装置,高温半導体に広く使用されています.抵抗型長い結晶炉は,抵抗式加熱によって高温環境を提供しますシリコンカービッド結晶の成長を実現するための鍵となる機器です

 

 

シック抵抗 成長 結晶炉 高温の加熱インゴット 6インチ 8インチ 12インチ 0

 

 


 

SIC抵抗長結晶炉の特徴

 

●高温容量:シリコンカービッド結晶の成長のニーズを満たすために2000°C以上の高温環境を提供できます.

 

· 高精度温度制御: 温度制御の精度は ±1°Cに達し,結晶の成長の質を保証します.

 

· 高安定性:抵抗加熱方法は安定し信頼性があり,長期間の連続作業に適しています.

 

· 低汚染:高純度素材と惰性大気が使用され,不純物の結晶質への影響を軽減します.

 

 


 

テクニカル仕様

 

仕様 詳細
サイズ (L × W × H) 2500 × 2400 × 3456 mm または個別化
クルーシブル直径 900 mm
究極の真空圧 6 × 10−4 Pa (1.5hの真空状態後)
漏れ率 ≤5 Pa/12h (焼却)
ローテーションシャフト直径 50mm
回転速度 0.5・5回転分
熱する方法 電気抵抗加熱
最低炉温 2500°C
熱力 40 kW × 2 × 20 kW
温度測定 双色赤外線ピロメーター
温度範囲 温度は900〜3000°Cです
温度 精度 ±1°C
圧力範囲 "700 mbar
圧力制御の精度 1×10 mbar: ±0.5% F.S.
10×100 mbar: ±0.5% F.S.
100~700 mbar: ±0.5% F.S
操作の種類 底部積載,手動/自動安全オプション
選択可能な特徴 複数の熱帯の二重温度測定

 


 

耐性増強炉の結果

 

成長結果


高度な物理蒸気移転 (PVT) を使って,SiC抵抗成長炉は,高温の結晶成長条件を正確に制御し,高品質の成長を確保することができます.低欠陥シリコンカービッド単結晶設備は,高精度温度制御 (± 1°C),高効率と省エネ,安定して信頼性があり,長期間の連続操作に適しています. The equipment provided by ZMSH is also equipped with an intelligent monitoring system that adjusts growth parameters in real time to further improve crystal consistency and yield to meet the semiconductor industry's demanding requirements for high-performance crystals.

 

 

製造標準の半導体


ZMSHは,SiC耐性成長炉の分野で長年の技術蓄積を有し,機器設計と製造から販売後のサポートまで一括サービスを提供しています.半導体産業の基準を満たしているだけでなく高温,高周波,高電力シナリオで優れた結晶性能を確保するために,パワー電子,RFデバイス,新しいエネルギーなどのアプリケーションにも最適化されています.

 

シック抵抗 成長 結晶炉 高温の加熱インゴット 6インチ 8インチ 12インチ 1シック抵抗 成長 結晶炉 高温の加熱インゴット 6インチ 8インチ 12インチ 2

シック抵抗 成長 結晶炉 高温の加熱インゴット 6インチ 8インチ 12インチ 3シック抵抗 成長 結晶炉 高温の加熱インゴット 6インチ 8インチ 12インチ 4

 

 


 

ZMSHサービス


ZMSHは,高性能SiC耐性成長炉と設備のカスタマイズ,プロセス最適化,技術サポートを含むサポートサービスを提供することに焦点を当てています.業界での長年の経験高品質のシリコンカービッド結晶に対する半導体産業の需要を満たすため,設備の高精度温度制御,安定性,エネルギー効率を保証します.ZMSHの強みは快速な配達だパーソナライズされたソリューションと24/7のアフターセールスサービスで,機器の設置から結晶成長プロセスの最適化まで,顧客に包括的なサポートを提供します.パワーエレクトロニクスのリーダーになるために顧客を支援するRFデバイスなど

 

 


 

Q&A

 

1. SiC抵抗炉は何のために使われますか?
A: SiC抵抗炉は,物理蒸気輸送 (PVT) 方法によって高品質のシリコンカービッド (SiC) 結晶を栽培するために使用されます.パワーエレクトロニクスおよび半導体アプリケーションに必須.

 

 

2. Q:なぜ,結晶の成長のためにSiC抵抗炉を選ぶのですか?
A: SiC抵抗炉は 精密な温度制御,高い安定性, エネルギー効率を備えており 低欠陥の製造に最適です先進的な半導体装置に必要な高純度SiC結晶.


 


タグ: #シリコンカービッド耐久性長い結晶炉, #SIC, #高温耐久性加熱, #インゴット, #6/8/12インチSIC結晶成長, #SICボール

 

 

 

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