ZMSHウェーハマウンティングリングは、ウェーハフレームリングまたはダイシングリングとも呼ばれ、ダイシング、バックグラインディング、研磨、ボンディング、一時的な輸送などの半導体製造プロセスにおけるウェーハの安全な取り扱いのために設計された精密に設計されたステンレス鋼フレームです。
420ステンレス鋼で製造されたウェーハマウンティングリングは、優れた剛性、平坦性、寸法安定性を提供します。ダイシングテープまたはUVテープと併用すると、信頼性の高いウェーハ固定を保証し、振動とずれを最小限に抑え、高精度ウェーハ処理中の歩留まり向上に役立ちます。
ZMSHウェーハマウンティングリングは再利用可能で、専門的なクリーニングおよび再生プロセスと互換性があり、ウェーハファブ、OSAT、および半導体研究所にとって費用対効果が高く信頼性の高いソリューションです。
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高硬度と耐摩耗性を備えた420ステンレス鋼製
高速、高精度ダイシングのための優れた平坦性と剛性
繰り返しクリーニングと再利用サイクルにおける安定した性能
クリーンルーム互換性のための滑らかな表面仕上げ
手動および自動ウェーハハンドリングシステムの両方に適しています
カスタマイズ可能な寸法、厚さ、およびエッジデザインが利用可能
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| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 製品名 | ウェーハマウンティングリング |
| 別名 | ウェーハフレームリング/ダイシングリング |
| ブランド | ZMSH |
| 材質 | 420ステンレス鋼 |
| 利用可能なサイズ | 6”、8”、12” |
| 厚さ | 1.2 mm (6” / 8”)、1.5 mm (12”) |
| 硬度 | HRC 48–55 |
| 平坦度 | ≤ 0.2 mm (6” / 8”)、≤ 0.3 mm (12”) |
| 表面仕上げ | ブライト(BA)またはヘアライン(HL)、カスタマイズ可能 |
| 製造公差 | GB/T1184-K、GB/T1804-M |
| 再利用性 | はい(専門的なクリーニングが必要) |
| サイズ(インチ) | 外径(mm) | 内径(mm) | 厚さ(mm) | 平坦度 |
|---|---|---|---|---|
| 6” | 約228 | 約194 | 1.2 | ≤ 0.2 mm |
| 8” | 約296 | 約250 | 1.2 | ≤ 0.2 mm |
| 12” | 約400 | 約350 | 1.5 | ≤ 0.3 mm |
注:寸法は図面またはサンプルに従ってカスタマイズできます。
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ZMSHウェーハマウンティングリングは、以下に広く使用されています。
半導体ウェーハダイシング/ダイソープロセス
ウェーハバックグラインディングと薄化
ブルーテープまたはUVテープによるフィルムマウンティング
ダイアタッチおよびボンディングプロセス
LEDおよびパワー半導体パッケージング
一時的なウェーハ保持と輸送
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専門的なウェーハフレームのクリーニングと再生
レーザー彫刻(シリアル番号、QRコード、バーコード、ロゴ)
カスタムサイズ、厚さ、および特殊なエッジデザイン
クリーンルームグレードまたは真空包装
図面レビューとアプリケーションマッチングの技術サポート
技術評価のために図面または物理的なサンプルを提出してください
仕様、公差、および表面要件を確認してください
数量とカスタマイズに基づいて見積もりを受け取ります
試作サンプルを承認する
完全な検査と納品による量産
ウェーハマウンティングリングは、ダイシングテープまたはUVテープと併用して、ダイシング、バックグラインディング、研磨、ボンディングなどのプロセス中に半導体ウェーハを安全に固定するために使用されます。高精度処理中のウェーハの動き、振動、および位置ずれを防ぎ、機械的剛性と寸法安定性を提供します。
プラスチックまたは樹脂リングと比較して、420ステンレス鋼ウェーハマウンティングリングは、著しく高い剛性、平坦性安定性、および耐摩耗性を提供します。寸法の一貫性と長い耐用年数が重要な、高速ダイシング、繰り返しクリーニングサイクル、および高精度半導体製造により適しています。
はい。420ステンレス鋼製のZMSHウェーハマウンティングリングは、再利用可能になるように設計されています。テープの残留物、接着剤、および粒子を除去するための適切な専門的なクリーニングにより、平坦性や性能に影響を与えることなく、リングを複数回再利用できます。