|
| ブランド名: | ZMSH |
| MOQ: | 50 |
| 配達時間: | 2-4週 |
| 支払条件: | T/T |
Semiconductor クォーツ ボート キャリア ラックは、ウェーハのロード、アンロード、一時保管、洗浄、および炉への搬送作業中にクォーツ ボートを支持および輸送するために使用される精密なハンドリング治具です。
マルチレベルの支持構造により、制御された間隔と安定した位置を維持しながら、複数の石英ボートを組織的に配置して保持することができます。適切に設計された接触点は、機械的負荷を分散し、移送中の動きを軽減し、壊れやすい石英ボートへの衝撃、傷、または偶発的な損傷のリスクを軽減します。
キャリアは、手動ハンドリング、カート、ローディング ステーション、搬送システム、および自動炉ローディング装置用に構成できます。全体の寸法、サポートの形状、レベルの数、積載量、および材料は、顧客の石英ボートおよびプロセス要件に応じてカスタマイズできます。
この商品は、クォーツボートを保持するように設計されたキャリアラック。キャリア自体は、石英、高純度エンジニアリング プラスチック、適切な表面処理を施した金属、またはその他のクリーンルーム対応材料から製造できます。
材料の選択は以下に基づいて行う必要があります。
キャリアが高温のプロセスチャンバーに入る場合、材料と構造はその用途に合わせて特別に設計され、認定されている必要があります。
複数のサポートレベルが石英ボートをしっかりと保持しながら、一貫した垂直方向と水平方向の間隔を維持します。
カスタマイズされた接触領域とサポート形状により、取り扱い中の局所的な応力、意図しない動き、衝突、エッジの損傷が軽減されます。
滑らかな表面、アクセスしやすいコーナー、最小化された粒子捕捉領域を組み込むことで、洗浄と汚染の制御をサポートできます。
制御されたサポート位置により、積み込み、積み下ろし、一時保管、および機器の移動時の位置合わせが向上します。
ラックは、手動操作、ハンドリングカート、炉装填ステーション、ロボット搬送システム、またはその他のカスタマイズされた機器向けに設計できます。
温度、化学的、清浄度、機械的要件に応じて、石英、クリーンルーム対応ポリマー、ステンレス鋼、コーティングされた金属、またはその他の材料が検討されます。
| アイテム | 利用可能な仕様 |
|---|---|
| 製品名 | 半導体石英ボートキャリアラック |
| 別名 | 石英ボートホルダー、石英ボートラック、ウェーハボートキャリア、炉ローディングラック |
| 一次機能 | 石英ボートの支持、位置決め、保管、搬送 |
| 対応業種 | 半導体、太陽光発電、実験室、研究 |
| 構造 | 単一レベルまたは複数レベルのサポート ラック |
| レベルの数 | カスタマイズされた |
| キャリアの寸法 | カスタマイズされた |
| クォーツボートの互換性 | ボートの寸法に合わせて製造 |
| 積載量 | デザインと材質に応じて確認 |
| キャリア材料 | 石英、クリーンルーム対応ポリマー、金属、またはカスタマイズされた材料 |
| サポート間隔 | カスタマイズされた |
| 接点形状 | ストレスと動きを軽減するようにカスタマイズ |
| 機器インターフェース | 手動、カートベース、ステーションマウント、または自動 |
| 表面状態 | 滑らか、研磨、不動態化、コーティング、またはカスタマイズ |
| 化学的適合性 | 洗浄剤による評価 |
| 温度機能 | 材質と暴露条件に応じて確認 |
| 製造方法 | 精密加工、溶接、組立、検査 |
| カスタムサービス | OEM、ODM、図面ベース、サンプルベースの製造 |
最終的な材質、寸法、公差、耐荷重、および温度制限は、石英ボートと取り扱い条件を確認した後、確認する必要があります。
石英ボートキャリアは、ボートの形状と実際の取り扱いプロセスに従って設計する必要があります。重要な要素には次のようなものがあります。
局所的な過度の応力を避けるために、支持点は石英ボートの構造的に適切な領域に対応している必要があります。
積み降ろしには十分な隙間が必要ですが、隙間が大きすぎると輸送中に不用意に動いてしまう可能性があります。
ラックは、完全または部分的に荷重がかかっているときに安定した状態を保つ必要があります。不均一な荷重条件も考慮する必要があります。
十分な間隔があると、隣接する石英ボート間の接触が防止され、ハンドリング ツールやロボット グリッパーがアクセスできるようになります。
オープン構造、スムーズな移行、アクセスしやすい表面により、洗浄が簡素化され、粒子や化学残留物の蓄積が軽減されます。
ラックが高温の炉の開口部の近くに配置されている場合は、ラックがプロセス チャンバーに入らない場合でも、輻射熱と短期間の温度暴露を考慮する必要があります。
次の機能をカスタマイズできます。
製造は、技術図面、CAD ファイル、石英ボートのサンプル、機器の寸法、または設置写真に基づいて行うことができます。
以下を提供してください:
自動積載システムの場合は、ロボットグリッパーの詳細、位置決め精度、および機器インターフェースの寸法も提供する必要があります。
一般的な製造および検査プロセスには次のものが含まれます。
各キャリア ラックは以下について検査できます。
プロジェクトの要件に応じて、負荷テスト、フィットテスト、カスタマイズされた検査レポートについて議論できます。
クォーツボートを保護し、キャリアの耐用年数を延ばすには、次の手順を実行します。
半導体または太陽光発電のウェーハ処理作業中に石英ボートの支持、位置決め、保管、搬送に使用されます。
必ずしもそうとは限りません。 「クォーツボートキャリア」とは、クォーツボートを保持するために設計されたキャリアを意味します。ラックの材質は、温度、清浄度、耐薬品性、荷重、および機器の要件に応じて選択できます。
はい。全体の寸法、サポート間隔、荷重レベル、接触点、およびインターフェースは、石英ボートの図面または物理サンプルに従ってカスタマイズできます。
はい。シングルレベルおよびマルチレベルの設計が可能です。ボートの数は、寸法、重量、必要な間隔、取り扱い方法によって異なります。
キャリアの材料と構造が直接高温にさらされるように特別に設計され、認定されている場合に限ります。標準的なハンドリング ラックは、通常、プロセス ホット ゾーン外での保管、輸送、炉への搬入に使用されます。
はい。位置決めピン、ロボットグリップインターフェース、位置合わせ機能、および機器適合構造を設計に組み込むことができます。
はい。技術図面、CAD ファイル、石英ボートのサンプル、または機器の寸法に基づいてカスタム生産が可能です。
はい。必要なウェーハサイズとプロセス条件に応じて、適合する石英ボートおよび関連炉石英コンポーネントを製造できます。
english
français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
português
Nederlandse
ελληνικά
日本語
한국
العربية
Türkçe
polski