この高純度溶融クォーツ保持環は 高精度機器の組成のために製造された 大きな環状部品で 熱安定性,電熱隔離,化学抵抗,物質汚染が少ない製品には,広い円形の体,大きな開いた中心部,上昇した内縁,ステップされた外側のプロファイル,周周に分散した複数の位置付け機能が特徴です.

部品はシンプルなフラットクォーツリングではなく 複数の加工レベルを含んでいます 装置のクリアランス,機械的な位置付け,部品の分離,装置組内の制御されたサポート広い環状の表面は安定した接触領域を提供し,上昇した内部の部分は別の部品を中心にしたり,内部プロセス領域の周りに定義されたギャップを維持するのに役立ちます.

外縁には数つの機械による中断装置や位置付けスロットが含まれます.これらの構造は,対応する固定装置に一致するように設計され,回転を防止し,組み立ての方向性を確立し,隣接するコンポーネントをクリアにするその数量,形状,位置,深さ,幅は,顧客の技術図に従ってカスタマイズすることができます.

このクォーツリングは オーダーメイドの半導体機器 真空システム 高温機器 実験室のプロセス室 光学装置普通の金属やポリマーリングが汚染を誘発する他の産業システム電気伝導性や熱膨張に関する問題です

テクニカル仕様

大型環状クォーツ構造

このオープンな構造により,リングはプロセスゾーン,チャンバーの開口,チューブ,ウエファーエリア,ヒーター中央作業領域を遮断することなく,光学経路または他の内部機器の構成要素.

その環状の形は,以下のようないくつかの機能に適応できます.

• 機械的なサポート
• 構成要素の保持
• 装置の配置
• 熱分離
• 電気隔熱
• プロセスエリアの保護
• 室間隔
• 周辺遮断装置
• マウントして位置付け

部品の正確な役割は,その設置位置と周囲の装置の寸法に依存する.この理由から,最終的な製品名は,クォーツの保持環,クォーツの支柱リングクォーツ・チェンジャー・リング,クォーツ・スペース・リング,またはクォーツ・フレンズ・リング.

ステップ内外プロフィール

部品の主要な特徴は,ステップ式横切断である.内周には,高揚したリムまたは肩が含まれ,外側には,高度と厚さの追加変化が含まれている.

この階段式構造は,次のものを提供することができる.

• 制御可能なマウント表面
• センターインターフェース
• 定義されたコンポーネントのギャップ
• 追加の構造厚さ
• 密封物や周囲の部分に対するクリアランス
• 既存のチャームプロファイルとの互換性が向上した.
• 機能面の分離

内側高揚縁には,位置付け,接触,視覚アクセス,または粒子制御に使用されるかどうかに基づいて,磨き,磨き,または火で完成した表面が供給される.

異なるレベル間の移行は,直肩,半径角,斜面,またはカスタマイズされた輪郭で作ることができます.慎重に設計された移行は,壊れやすい石英部品の局所的なストレスの濃度を減らすことができるため,鋭い内部コーナーは,通常,可能な限り避ける.

正確な位置付けの特徴

表面の周回線に沿って,いくつかの均等に分布した特徴が見られます.これらは浅い溝,リリエールフ部分,アライナインメントノッチ,またはロケーションスロットである可能性があります.

この薬は以下に使えます.

• 設置方向を定義する.
• マッチ装置の固定点
• 望ましくない回転を防止する
• クランプの周りにクリアスペースを確保する.
• クォーツリングを別の部品に並べます
• 組み立て検査のための基準点を作成します

定位機能は完全にカスタマイズできます.お客様はスロット数,角間隔,寸法,角半径,および他の重要な表面との関係を指定できます.

交換部品については,各位置付け要素の角位置を検証することが重要です.外径と内径が正しい場合でも,正しく配置されていないスロットは,部品が元の機器に組み込まれることを妨げる可能性があります..

溶融クォーツ材料のオプション

部品は,異なるグレードの溶融クォーツまたは溶融シリカから製造することができます.材料の選択は,外観のみではなく,作業環境に基づいて行われます.

選択肢は以下のとおりです.

• 一般的な工業用溶融クォーツ
• 高純度溶融クォーツ
• 半導体級クォーツ
• 合成溶融シリカ;
• 光学級の溶融シリカ;
• 低ヒドロキシル溶融シリウム
• 高水酸化溶融シリカ

高純度クォーツは,金属汚染,粒子生成,化学的互換性を制御しなければならない機器のために一般的に選択されます.

強化された光学伝達または材料の一貫性の厳格な制御が必要な場合,合成溶融シリカを考慮することができます.適切な材料は波長に応じて選択する必要があります.,温度,大気,純度,設備の要件

熱性能と化学性能

溶融クォーツは,熱膨張係数が低く,多くの高温条件下で寸法安定性を維持することができる.これは,炉組に有用である.実験室の暖房システム繰り返し加熱・冷却を繰り返すプロセス室.

その熱性能は,依然としていくつかの実用的な要因に依存しています.

• 最大動作温度
• 暖房と冷却の速度
• 温度均一性
• 機械的制約
• リングの寸法
• 局所的な接触圧
• 表面状態
• 既存の内部ストレス

不均一な加熱や固い固定により熱圧が発生する.したがって,直径が大きいリングは均等に支えられ,空隙が不十分な組成物に押し込まないべきである.

クォーツ は,多くの 化学 物質 や 酸 に 耐性 を 持っ て い ます.しかし,あらゆる 化学 物質 に は 普遍 的 に 耐性 を 持っ て い ない の です.水素フッ素酸 と ある 熱い アルカリ 物質 は 石英 表面 に 攻撃 を 及ぼし ます化学的相容性が使用前に確認されなければなりません.

電気隔熱

溶融クォーツは電気を隔離する材料である.したがって,電気を伝導する部品間の電気を隔離する必要がある機器で使用することができる.

潜在的用途には,以下に近い組成物が含まれます.

• 電極
• プラズマ源
• 暖房装置
• 電気フィードアウト;
• センサー
• メタル・チャンバー部品
• 高電圧のプロセス領域

広いリングボディは,最終構成に応じて,機械的分離と電気的隔離の両方を提供することができる.

表面塗装の選択

展示された製品は,半透明またはスムージュされた環状の表面と,より透明な磨きされた縁を組み合わせています.この混合した仕上げは,しばしば各領域の機能に応じて意図的に作成されます.

利用可能な表面オプションは以下のとおりです.

終点

地面は均質なマットな外観を提供し,非光学的なサポート領域に使用される.

ラップしたフィニッシュ

一般的な磨きと比べると,ラッピングは平らさ,並列性,接触一致性を向上させることができます.

透明な磨き

磨きは透明性を高め,より滑らかな表面を作り出すことができます.視覚検査,光学伝達,残留留を減らす,または正確な接触領域のために指定されることがあります.

火の磨き

火磨きは,選択された縁を滑らかにし,鋭い加工痕を減らすことができます.通常,必要な許容量に適した場合にのみ適用されます.

凍った仕上げ

照明を減らすため,または均一な非光学表面を提供するために,制御された冷凍仕上げを使用することができる.

上面,下面,内壁,外壁,階段,ロケーションスロットには様々な仕上げが適用できます.

カスタム製造パラメータ

この溶融クォーツリングは,顧客特有の寸法に従って製造されています.利用可能なカスタマイズには以下が含まれます:

• 総外径
• 中央開口直径
• 総厚さ
• リングボディの幅
• 内縁の高さ
• 内縁の幅
• 外部ステップの寸法
• 位置付けスロット数
• スロット幅と深さ
• スロット角位置
• 内側と外側の縁の半径
• 表面の平らさ
• 表面の平行性
• 内側と外側の同心度
• 丸さ
• 表面の荒さ
• エッジ・チャンファー
• 材料のグレード
• 清掃手順
• 梱包方法

完全な図面では,データ表面と重要な寸法が明確に識別されるべきである.同心度とスロット位置が重要であれば,図面には定義された参照軸が含まれなければならない.

製造プロセス

生産には,製品の寸法と材料の空白に応じて,次のことが含まれる.

• クォーツ・ブランク製剤
• 大直径の円形切断
• 中央開口加工
• 内部直径の磨き
• 外径の磨き
• 表面磨き
• ステップ加工
• スロット・ノッチ加工
• エッジ・チャンファーリング
• 精密ラッピング
• 地元化磨き
• 火の仕上げ
• 清掃
• 寸法検査
• 保護用パッケージ

大型のクォーツ部品は,過剰な局所的な力が縁の損傷や隠れた裂け目を引き起こす可能性があるため,生産中に慎重に処理する必要があります.

特に要求の高いアプリケーションでは,まずは試作品を製造し,尺寸の適合性と設置の互換性を確認することができます.

潜在的応用

ステップ溶融クォーツの保持環は,以下を考慮することができる:

• 半導体プロセス室
• プラズマ処理装置
• エッチングシステム
• 貯蔵装置
• 拡散炉組;
• 酸化装置
• ワッフル加工ツール
• 高温ラボシステム
• バキューム・チャンバー
• 石英原子炉組件;
• 熱隔断構造物
• 光学機器
• ガス処理装置
• カスタム製の研究機器
• 高純度産業機械

サポート,保持,アライナメント,分離,隔離,または保護部品として機能することができる.

正確な使用は外見だけでは確認できないため,最終製造前に操作条件と組立図をレビューする必要があります.

主な製品利点

カスタマイズされた機器互換性

完全なリング幾何学は,既存の機器の寸法と組立インターフェースにマッチできます.

低熱膨張

溶融クォーツは,多くの加熱・冷却過程で良い寸法安定性を提供します.

高質の物質

高純度な品種は,敏感なプロセス環境での汚染リスクを減らすのに役立ちます.

統合環形設計

部品は単一のリングとして製造され,複数の組み立てされた部品間の関節は避けられます.

正確な位置付け特性

外部のスロットとステップされた表面は,方向性と設置位置を制御するのに役立ちます.

複数の表面オプション

粉砕 さ れ た 表面 や 磨き さ れ た 表面 や 焼却 さ れ た 表面 は 一つ に 組み合わさ れ ます.

小批量カスタマイズに適している

プロトタイプ,スペアパーツ,バッチ生産の要件は,図面に従って評価することができます.

品質管理

検査は承認された図面に対して行うことができる.一般的な検査項目は以下のとおりである.

• 外径
• 内径
• 総厚さ
• 階段の高さ
• ステップ幅
• スロット数
• スロットサイズ
• スロット角位置
• 平らさ
• パラレリズム
• 丸さ
• 集中度
• 表面の荒さ
• 表面の傷跡
• エッジチップ
• 目に見える泡
• 含有物
• 清潔さ
• 梱包状態

測定方法については,特に温度とサポート条件が測定結果に影響を与える大きなリングでは,非常に狭い許容量が要求される場合,事前に合意する必要があります.

清掃 と 包装 の 選択肢

清掃および包装サービスには以下のサービスが含まれます.

• 標準的な清掃
• 超音波浄化
• デイオニ化水洗浄
• 高純度化学浄化
• クリーンルーム対応の操作
• 個別保護用包装
• 2層密封袋
• 泡の位置付け支柱
• 硬い輸出箱

輸送中,製品は広い領域に支えられ,外縁や内側の開口に直接的な衝撃を避けるべきである.

コート要求

引用のために次の情報をご提供ください.

1. 外径
2. 内部開口直径
3. 総厚さ
4. 完全なステップ式横断面の寸法
5. 位置付けスロットの数と位置
6. 平らさ要求
7. パラレリズム要求
8. 集中度要求
9. 表面仕上げの要件
10. クォーツ材料のグレード
11. 動作温度
12. 化学物やプロセスガスへの曝露
13. 装置の適用
14. 必要な量
15. 図面かオリジナルサンプル

交換機器の部品については,オリジナル図といくつかの明確な写真の両方を提供することで,寸法に関する誤解のリスクを減らすことができます.

よくある質問

このクォーツリングと標準的なクォーツフレンズの違いは何ですか?

標準的なクォーツフレンジは,しばしばチューブ接続,密封インターフェイス,またはボルトホール構造に関連付けられています.この製品は,可視的なボルトホールを持っていません.,これは,大きなステップリングルの幾何学のために,まだクォーツフレンズカテゴリーに配置することができます.

中部 の 上昇 縁 を 取り除く こと が でき ます か,交換 する こと が でき ます か.

はい.その直径,高さ,幅,角半径,表面の仕上げは,機器の図面に従って変更することができます.

リングに追加の穴を加工できるのか?

穴,スロット,リレフ領域,位置付けの特徴を評価することができる.実行可能性は,その寸法,位置,縁からの距離,リング厚さ,および必要な強さに依存する.