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​​Siウェーハ/SiC/サファイア材料向け高精度片面研磨装置​​

半導体装置
2025-08-15
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高精度片面研磨装置概要​ ​​Siウェーハ/SiC/サファイア材料向け高精度片面研磨装置​​ 高精度片面研磨装置は、硬くて脆い材料(例:半導体シリコンウェーハ、炭化ケイ素、ヒ化ガリウム、サファイア、石英、セラミックス)用に設計された特殊な精密加工ツールです。一方向回転研削と化学的相乗効果により、平面度≤0.01mm、表面粗さRa≤0.4nmの超高表面仕上げを実現します。この装置は、半導体ウェーハの... もっと眺め
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